自在計測制御技術

事例小型化により工場市場の幅広いアプリケーションに使用が可能となる圧力センサ

小型化、高精度化、高耐圧性を実現した素子構造により、製品への高精度機器の組込みなどを可能にする圧力センサ

特長1.封入液量を大幅に低減したセンサ構造

直接接合技術により、センサ部に圧力導入室(=オイル封入部)を内蔵。これにより、ハーメチックシール構造を撤廃し、封入オイル量を従来の1/10以下を達成。

特長2.温度影響による特性の劣化を最小限に抑え、高精度化を実現

封入オイル量を極少化し、周囲の温度変化によるダイヤフラムへの影響を抑えることで、温度特性が大幅に改善されました。


azbil Technical Review

封入液量を極少化した圧力センサ構造の開発 (PDF/1,444KB)


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