azbilグループの株式会社テムテック研究所（本社：中央区月島2-7-13　社長：相澤満芳）は、半導体製造現場の「安心・安全」な操業・メンテナンスを支援するマイコン自動気密計「ATM-300」（以下、ATM-300）の販売を開始し、12月3日～5日に幕張メッセで開催されるセミコン・ジャパン 2008に出展することをお知らせいたします。

テムテック研究所は、半導体製造の前工程における製造設備装置市場に強みを持ち、高純度特殊ガス用圧力センサや耐腐食性圧力センサなどの製品群において、高いブランド力を有しています。半導体市場で強く要求される先端技術の早い段階での市場投入・短期間での製品開発や、顧客密着によるニーズ調査など、「あなたの会社の開発室」というコンセプトのもと、事業展開を行っております。

今回販売を開始するATM-300は、ガス配管内の微少な漏洩検査をすることが可能な製品です。半導体製造工程の前工程では、低濃度で人体へ影響が出るシラン・アルシンなど、毒性ガスが材料ガスとして使用されています。したがって、これらの毒性ガスが配管などから漏洩してしまうことは大きな事故につながるため、配管時の気密漏洩検査が欠かせません。従来は、圧力変化を見ることにより漏洩検査を行っていましたが、密閉された容器・配管中の気体は、周囲温度の変化により配管内部で膨張・収縮が繰り返されるため、微少な漏れを単なる圧力変化だけで検出を行うことは困難でした。

ATM-300は、気体の温度による圧力変化を検出してマイコンにより自動演算処理し、補正された圧力表示を行います。したがって、従来の漏洩検知液を塗って泡で確認する方法では検出できないような微少な漏れが検出できます。また記録されたトレンドデータは、USB経由でパソコンにてデータ出力が可能となっています。

ATM-300は1台あたり600,000円、半導体エンジニアリングメーカーなどに対し、年間販売目標台数100台を目指しております。

また今回、ATM-300と同様に半導体製造現場の「安心・安全」な操業・メンテナンスを支援する製品として、2線式電送にも対応した4-20ｍA信号発生器と、局所排気装置の吸引状態などを確認するために配管内に設置するポータブルタイプの風速／風量計を新たに発売し、セミコン・ジャパン 2008に出展いたします。

今後テムテック研究所は、azbilグループの理念である「人を中心としたオートメーション」のもと、山武の販売ネットワークも活用しながら、現場計器類から半導体向けの圧力センサ・真空計まで、半導体製造現場のトータルソリューションで新たな事業機会の創出を狙います。