安定した計測が難しかった30 mL/min以下の微小液体流量計測が可能な熱式微小液体流量計を販売開始

2017年11月28日
アズビル株式会社

アズビル株式会社(本社:千代田区丸の内2-7-3 社長:曽禰寛純)は、安定して30 mL/minの微小な液体流量の計測が可能となる、熱式微小液体流量計 形 F7Mを12月4日より、販売開始します。

今回販売開始する熱式微小液体流量計は、30 mL/min以下の微小液体流量の瞬間・積算流量計測という、従来の手法では難しかった計測を可能としました。

液体に限らず、流量計測においては多様な計測方式が採用されていますが、それぞれの計測方法には長所・短所があり、計測対象流体の性質、流量レンジ等の全てにおいて万能な計測方式は存在していません。特に30mL/min以下の微小液体流量の領域では、用途を限定すれば複数の実用化例はあるものの、一般産業市場・半導体製造プロセス・製薬・化学分析の分野にて、実際の使用条件に合致し、かつ価格条件、大きさ・形状、設置条件などを満たす流量計の選択肢はほとんど皆無といってよく、そのような条件を満たし、かつ安定した微小液体流量計測可能な流量計が求められていました。

こうした要求にこたえるため、既に長年気体流量計にて実績が豊富な、当社のオリジナル技術である熱式MEMSセンサと、耐食性の高い石英ガラス製流路を組み合わせ、気泡、脈動、流体温度など流体状態の変化の影響を受けにくく、流体ごとに異なる熱伝導率を補正し、多様な流体を平易に計測することが可能となる製品として開発したものがこのたび発売する熱式微小液体流量計です。
微小流量の測定に加え、標準装備のイベント出力機能を用いることにより、配管内の空状態や気泡混入を検知したり、脈動の状態を監視したりすることができ、通信機能によりIoT技術と組み合わせることで製造工程の品質管理や工程異常検知が可能となりました。

■特長

  1. 30mL/min 以下の流量で計測可能。
    ・MEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用し、従来は再現性の高い測定が困難であった「30mL/min」以下の微小液体流量計測が可能。
  2. ストレート流路
    ・圧力損失が小さく、また液溜りがなく洗浄性に優れる。
  3. 小型・軽量、取付け簡単
    ・従来製品よりも著しく小型・軽量化。
    ・付属の取付けブラケットを使用して上面(水平配管時)から平易に取付け可能。
    ・垂直配管への取付けが可能。
    ・別置きの変換器(アンプ)不要。
  4. 設置場所、流体を選ばない
    ・IP65保護構造*に準拠
    ・製品外面に一切の金属材料を使用しないため、液体飛沫を受ける環境でも使用可能など、腐食性流体への耐性が向上。
    ・接液部を石英ガラス(流路)・フッ素樹脂(継手)にて構成、センサは接液しないため、多様な流体(石英ガラス・フッ素樹脂を腐食させない流体)に使用可能。

■販売目標
・初年度:2,000台
・3年後:8,000台


商品についてはこちらのサイトをご覧ください。

なお熱式微小液体流量計 形 F7Mは11月29日から東京ビッグサイトで開催されるシステム コントロール フェア 2017・計測展 2017 TOKYOの当社ブースでご紹介します。


当社はazbilグループの企業理念である「人を中心としたオートメーション」の下、お客さまの「安心・快適・達成感」を実現するとともに、お客さまのニーズに応える製品を提供してまいります。

* IEC 60529に定められた、塵埃に対する完全な保護と任意の方向からの水の噴流に対する保護

*掲載されている情報は、発表日現在のものです。

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