パネルマウント・マスフローコントローラ 　 No. CP-SS-1876 （第3 版） 概　要 パネルマウント・マスフローコントローラMPCシリーズは検出部に 弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ（マイクロフロー TMセンサ）」を使用し、超小型比例ソレノイドバルブを搭載した小型・ 軽量のパネルマウントタイプのデジタルマスフローコントローラです。 フロート式流量計からの置き換えを容易に行えるよう簡単操作・ 簡単取り付け・ローコストを実現したコントローラです。 特　長 . 小型（マスクサイズ　□48ｍｍ　奥行き73.7ｍｍ）、軽量 （300g）のマスフローコントローラです。 . 当社オリジナルのμＦ（マイクロフローTMセンサ）を搭載し、 高度なデジタル制御を駆使することにより、低流量から最大 流量まですべての流量域において１秒以内での安定した流量 コントロールを実現しています。 . フロート式流量計における「圧力変動による流量変動」、「流 体温度・圧力が設計条件と異なった場合の補正換算」、「流量 信号出力対応」などの課題を解決できます。 . 本体に現在流量値と設定流量値の２段表示を搭載、またすべ ての操作を本体のキーにて行うことが可能ですので、専用設 定器や表示器などの周辺機器無しで使用できます。 . 配管接続部と電気配線部を本体背面に集約し、取り付け作業 を平易化しました。 また、配線部にはコネクタ端子台（脱着可能）を採用してい ますので、配線作業や本体交換作業が容易となります。 . ＤＣ２４Ｖ電源駆動ですので、従来のマスフローコントロー ラのような高価な±１５Ｖの専用電源は不要です。 仕　様 形　番 項　目MPC9500 MPC0002 MPC0005 MPC0020 バルブ方式比例ソレノイドバルブ バルブ動作非通電時−閉 （N.C.） 標準フルスケール流量（窒素換算値） *1 0.500 L/min （standard） 2.00 L/min （standard） 5.00 L/min （standard） 20.0 L/min （standard） 標準対応ガス種類空気/窒素、アルゴン、炭酸ガス（CO2） ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸）を含まない乾燥気体であること また、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること 制御制　御　範　囲 *1 4〜100%FS *1 2 〜 100%FS *1 応答性設定±2%FSに1.0s 以内 （TYP.） 精度±2%FS 以内（標準温度・標準差圧にて） 再現性±1%FS 以内 温度影響1℃あたり0.1%FS 以下 圧力影響 (0.1MPa あたり Q : 流量) Q≧40%FS 0.7%FS以下0.4%FS以下0.2 %FS以下0.2 %FS以下 10%FS≦Q ＜40%FS 1.2%FS以下0.7%FS以下0.3 %FS以下0.2 %FS以下 Q＜10%FS 2%FS以下1.2%FS以下0.5 %FS以下0.2 %FS以下 圧力標準差圧0.2MPa（入口圧 : 0.2MPa（gauge）、出口圧 : 0.0MPa（gauge）） 必 要 差 圧 *2 0.05MPa 0.1MPa 0.15MPa 動作差圧範囲 *3 0.3MPa以下0.05〜0.3MPa 耐圧0.5MPa（gauge） 温度標準動作温度＋25℃ 許容動作温度範囲ー10〜＋50℃（ただし、RS-485通信機能使用時は0〜＋50℃） 許容保存温度範囲ー10〜＋60℃ 湿度許容動作湿度範囲10〜90%RH（結露なきこと） 1 2 36 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/