. 外部スイッチ入力 取り扱い上の注意 ・ リレー接点で切り替えを行う場合は、微少電流用のリレー（金接点タイプ）を使用してください。接点の接触不良により誤動 作を起こす恐れがあります。 　. アナログ入出力（アナログ入出力機能付きモデルだけ） 取り扱い上の注意 ・ アナログ設定電圧入力端子にマイナス電圧または5Vを超える過大な電圧を印加しないでください。誤動作および故障の原因 となります。 　. RS-485通信（RS-485通信付きモデルだけ） 形番構成表 基 本 形 番 流 量 レンジ 機 種流 路 材 質 接 続 方 式 ガ ス 種 類 予 備付 加 機機1 付 加 機機2 付 加 機機3 付 加 機機4 付 番内　容 MPC パネルマウント・マスフローコントローラ 9500 0.020〜0.500 L / min（ standard） *1 0002 0.08〜2.00 L / min（ standard） *1 0005 0.10〜5.00 L / min（ standard） *1 0020 0.4〜20.0 L / min（ standard） *1 B 一体形表示器付き B 黄銅 R Rc 1 / 8 N 空気 / 窒素 *2 0 ー 0 付加機能なし 1 アナログ入出力機能付き （RS-485通信機能なし） 2 RS-485通信機能付き （アナログ入出力機能なし） 0 付加機能なし 0 付加機能なし 0 付加機能なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明対応 0 製品バージョン *1 L /min（ standard）は、20℃、101.325kPa（ 1気圧）に換算した体積流量（ L/min） を表します。 なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも変更できます。 *2 出荷時には空気/窒素用に初期設定されています。設定変更を行うことにより、アルゴン、炭酸ガスにも対応できます。 5 6 外部スイッチ入力1 外部スイッチ入力2 9 SIGNAL GND 7 8 アナログ設定電圧入力 アナログ流量電圧出力 9 SIGNAL GND ＋− ＋− 0〜5Vまたは 1〜5V入力 0〜5Vまたは 1〜5V出力 7 8 DA DB 9 SIGNAL GND DA DB SG 5 2 36 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/