No. CP-SS-1831 （第13 版） マイクロフロー式渦流量計 MVF□□□□□□□011□□□□0 特　長 . シリコンマイクロマシニング技術、薄膜形成技術を駆使し て製作されるμFセンサを使用。1辺わずか1.7mm、厚み 0.5mmの高感度、高速応答のセンサを渦周波数検出に利用 していますので100：1の広い計測範囲を実現しました。 . 温度・圧力補正機能を一体化し、温度・圧力センサ・補正機 器が一切不要です。 . 4-20mA瞬時流量出力、積算パルス出力、通信機能など豊 富なインターフェースをすべて標準装備しており、様々な外 部機器との組み合わせが可能です。 . 表示は瞬時/積算流量表示付きですので、現場での確認が可 能です。 . 屋外設置が可能なIP67構造です。 仕　様 項　目内　容 MVF050 MVF080 MVF100 MVF150 接続口径50A（2B） 80A（3B） 100A（4B） 150A（6B） 流量計測範囲 （空気の場合 @23℃） 圧力0.05MPa時7.4〜322m3/h（normal） 11.0〜711m3/h（normal） 13.7〜1095m3/h（normal） 24〜2356m3/h（normal） 圧力0.15MPa時7.4〜535m3/h（normal） 11.8〜1181m3/h（normal） 18.2〜1819m3/h（normal） 40〜3913m3/h（normal） 圧力0.5MPa時12.8〜1280m3/h（normal） 28.3〜2825m3/h（normal） 43.5〜4351m3/h（normal） 94〜9364m3/h（normal） normal は、0℃、101.325kPa（1気圧）に換算した体積流量（m3/h）を示します 上記以外の条件については、温圧補正後の精度表（8ページ）をご覧ください 計測対象気体空気、窒素、アルゴン、酸素 *1、炭酸ガス、都市ガス（13A）、メタン、プロパン、ブタンその他不活性ガスおよ び各種混合ガスおよび各種混合ガス爆発限界範囲外のガス、ただし、検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含 まないこと、および乾燥気体であること 体積流量精度 （空気の場合@23℃、 圧力0.01MPa時） 73m3/h（actual）以上 にて±2%RD 109m3/h（actual）以上 にて±2%RD 154m3/h（actual）以上 にて±2%RD 282m3/h（actual）以上 にて±2%RD 使用圧力と流量域により体積流量精度は異なります　詳細は、 体積流量精度規定表（7ページ）をご覧ください 温圧補正後の精度圧力0.5MPa時 74m3/h（normal）以上 にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時 110m3/h（normal）以上 にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時 156m3/h（normal）以上 にて±3.3%RD 圧力0.5MPa時 286m3/h（normal）以上 にて±3.5%RD 上記は0〜1MPaスパンの圧力センサを搭載したMVF□□□0の例です これ以外の機種については、温圧補正後の精度表（8ページ）をご覧ください また、圧力センサはゲージ圧センサを使用しているため大気圧変動誤差は含んでいません 使用圧力範囲 （圧力センサ精度） 形番：MVF□□□1：0.0〜0.1MPa（±2%FS　＠23℃） 形番：MVF□□□3：0.0〜0.3MPa（±2%FS　＠23℃） 形番：MVF□□□0：0.0〜1.0MPa（±1%FS　＠23℃） 耐圧形番：MVF□□□1：0.15MPa 形番：MVF□□□3：0.45MPa 形番：MVF□□□0：1.5MPa 使用温度範囲（温度センサ精度） −15〜＋60℃（±2％ RD（絶対温度基準）） 使用湿度範囲10〜90%RH　結露なきこと 流量演算／ 出力更新周期100ms 定格電源DC24V 消費電流100mA以下 電流出力 1 点瞬時流量：DC4〜20mA（許容負荷抵抗 600Ω以下）　最大電流値：23.2mA 1 2 43 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/