マスフローコントローラ

CE

検出部に弊社独自開発の熱式流量センサである「マイクロフローセンサ」を使用し、高度なアクチュエータ制御技術を搭載した気体用マスフローコントローラです。 マイクロフローセンサの特長を活かし、広い流量制御範囲での高速応答を実現しました。

工場生産工程でのガラス、ロー付け加工の火炎制御等、これまでマスフローコントローラでの制御が困難であった低圧供給ガスの流量制御にも適しています。 多彩な製品バリエーションでお使いいただけるアプリケーションがさらに広がりました。


質量流量計測

空気、ガスの使用温度、圧力にかかわらず標準状態に換算した流量を計測できます。
(* 標準状態に換算した流量とは、1気圧、0℃(または20℃)での体積流量を表します。)

広い計測範囲

一般に気体流量計は、最大計測流量に対し低い流量域の計測が困難でしたが、マイクロフローセンサの搭載により広い範囲での計測、制御を実現しました。デジタルマスフローコントローラ(MQV形)では、100:1の広い制御範囲により、機種統合や予備品削減が可能です。

高速応答

微細で熱容量が非常に小さなMEMSセンサが直接気体に触れて計測しておりますので、デジタルマスフローコントローラ(MQV形)では、300msecの高速応答を実現しています。

低圧損構造

マイクロフローセンサが流路の壁面に設置された構造で、低圧力損失を特長としております。低圧での気体流量制御のアプリケーションに最適です。

高精度

マイクロフローセンサは経年的な特性変化が非常の少ないため、長期にわたって高精度を維持できます。

多様な機能

制御機器で蓄積したマイコン技術により、従来のマスフローでは前例がない様々な機能を搭載しております。
瞬時/積算流量表示、ガス種類切替機能、上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など (* 製品により異なります)

幅広いラインアップ

~5mL/minから~500L/minまで、使用用途に応じて幅広い流量域のラインアップをご用意しております。


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