マスフローメータ

マイクロ―フローのマスフローメータは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである「μFセンサ(マイクロフローセンサ)」を使用した質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使し、超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、ワイドレンジアビリティを低価格で実現しました。

生産工程、試験装置などで使用する燃料ガス・各種工業ガス・工場エアの流量管理や棟別使用量管理等に適しています。


質量流量計測

空気、ガスの使用温度、圧力にかかわらず標準状態に換算した流量を計測できます。
(* 標準状態に換算した流量とは、1気圧、0℃(または20℃)での体積流量を表します。)

広い計測範囲

一般に気体流量計は、最大計測流量に対し低い流量域の計測が困難でしたが、マイクロフローセンサの搭載により広い範囲での計測、制御を実現しました。 マスフローメータCMSでは100:1、大流量マスフローメータCMLでは160:1(計測範囲は1,280:1)の広い計測範囲、 空気やガスの使用量の管理、省エネにおける漏れの管理に最適です。

高速応答

センサが直接気体に触れて計測しておりますので、高速応答性を実現しています。

低圧損構造

マイクロフローセンサは流路の壁面に設置され、流れの抵抗となる構造体が少ないため、低圧力損失を特長としております。低圧での気体流量計測アプリケーションに最適です。

高精度

広い流量域での高精度を実現するため、マスフローメータは、RD(読み値)精度規定を採用しております。

多様な機能

制御機器で蓄積したマイコン技術により、従来のマスフローでは前例がない様々な機能を搭載しております。
瞬時/積算流量表示、ガス種類切替機能、上下限警報出力、アナログ出力、積算パルス出力、通信機能など (* 製品により異なります)

幅広いラインアップ

0~500mL/minから0~1600m3/hまで、使用用途に応じて幅広い流量域のラインアップをご用意しております。

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