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微小热式流速传感器的尺寸
1.7mm微小尺寸的微小热式流速传感器
azbil集团通过探索“以人为中心的自动化”，致力于解决客户课题和为地球环境作贡献，正在推进可再生能源的引进和节能措施等的支援工作。在推进这些举措的过程中，除了对作为燃料和动力源使用的流体进行管理之外，与能源效率相关的质量流量的测量也变得很重要。
阿自倍尔的微小热式流速传感器实现了高精度的质量流量测量。在比米粒还小的、实际为1.7mm见方的硅芯片上形成了厚度仅为1微米的薄膜膜片，在膜片的中央位置配置加热器，并在其左右配置温度传感器，由此构成了该装置。
利用MEMS技术开发高性能传感器
这种微小传感器的开发依托于阿自倍尔特有的先进MEMS技术，该技术在制作出从纳米级到微米级的微细结构的微细加工技术的基础上，制造集成了机械、电气、热元件的微小型设备和系统。MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微机电系统）的首字母缩写。其特点是利用微细技术实现动作和功能的超小型设备/系统，而非单纯的通过微细加工制造出的结构体，被组装到多个领域的产品中，应用于设备的小型化、低功耗化和性能提升等。
阿自倍尔从20世纪80年代开始就关注到了MEMS的潜力，并在本公司持续推进MEMS的研究开发。从开发初期的测量低流速区域的微小热式流速传感器开始，逐步扩展到面向高流速的流量传感器，以及在传感器芯片表面键合微小流道的流道集成结构的流量传感器的开发。由此，实现了从5mL/min的微小流量到2500L/min的大流量范围的高精度测量和控制。通过这一发展进程，阿自倍尔开发了各种传感器，并不断推进将其搭载于本公司的产品中。
今后，随着生成式AI的发展和DX（数字化转型）*1的推进，预计MEMS的应用范围将进一步扩大。阿自倍尔以测量和控制技术为基础，将进一步提高MEMS的技术能力，推进基于MEMS的产品化，以满足客户现场和市场的需求。
- *1：DX（Digital Transformation）
通过普及先进的数字技术，使人们的生活变得更加美好。 - ※本文为2025年8月20日发布的日文版文章的译文。
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