5 表.5　外形寸法、製品質量 表.5-1　ウエハー形接続（単位：mm） ........ ...... .... ...... .. .. .. .... .... .... .... .. .... .. .... .. .. .... .. .... ........ JIS10K, 20K, 30K, 40K ANSI150, 300, 600 JPI150, 300, 600 JIS10K, 20K, 30K, 40K ANSI150, 300, 600 JPI150, 300, 600 JIS10K, ANSI150, JPI150 - - - JIS20K 23 19 60 JIS30K, JIS40K 23 19 65 ANSI300, 600, JPI300, 600 23 19 64 JIS10K 23 19 75 JIS20K 23 23 80 ANSI150 45 19 76 ANSI300 23 22 84 JPI150 45 19 76 JPI300 23 22 84 JIS10K 23 19 88 JIS20K 23 23 93 ANSI150 23 19 92 ANSI300 23 22 100 JPI150 23 19 92 JPI300 23 22 100 ........ ...... ...................................... .. 100,101,500,501,010,011,020,021 197 200,201,600,601,030,031,040,041 200 300,301,700,701,050,051,060,061 203 400,401,800,801,070,071,080,081 200 100,101,500,501,010,011,020,021 196.5 200,201,600,601,030,031,040,041 200 300,301,700,701,050,051,060,061 203.5 400,401,800,801,070,071,080,081 200 100,101,500,501,010,011,020,021 196 200,201,600,601,030,031,040,041 200 300,301,700,701,050,051,060,061 204 400,401,800,801,070,071,080,081 200 100,101,500,501,010,011,020,021 287 200,201,600,601,030,031,040,041 295 300,301,700,701,050,051,060,061 303 400,401,800,801,070,071,080,081 295 100,101,500,501,010,011,020,021 285 200,201,600,601,030,031,040,041 295 300,301,700,701,050,051,060,061 305 400,401,800,801,070,071,080,081 295 2 4 3 37 50 61 165 312 70 87 4 83 - - - 16 RSA2D(R) 194 108 240 36 54 3 315 112 1 11/2 2 153 350 365 150 17 350 365 49 128 23 150 240 36 RSA1D(R) 124 205 49 218 255 75 RSA2D(R) 15 11/2 RSA1D(R) 201 218 255 128 23 23 114 128 68 - - - 75 128 45 98 75 1 RSA1D(R) 102 195 40 218 255 注．1） 面間寸法（K）はISA、S75.04に適合します。またSAMA PMC23.3Aに準じます。 （Scientific Apparatus Makers Association） 　　2） 多孔減圧プレート仕様（内蔵形）の面間寸法は変りません。 　　3） 配管接続にはジョイントシートガスケットをご使用ください。 スパイラルガスケットをご使用の場合、下記の接続口径では規格外寸法のガスケッ トが必要となりますので、外形寸法表のガスケット面内外径に合ったガスケットを ご用意ください。 　・接続口径1Bで圧力定格JIS40Kの場合 　・接続口径1Bで圧力定格ANSI150/300/600の場合 　・接続口径4Bで圧力定格JIS20Kの場合 　・接続口径4Bで圧力定格ANSI150/300の場合 4 1 WEBサービス 製品の最新情報は www.azbil.com/jp/