9 接続口径 定　　格φD φd T1 T2 H W T3 φF 質量（kg） 組付面間※1 （B） JIS 10K 67 0.34 1 JIS 20K 67 25 10 6 74 20 4 10 0.34 115.2 JIS 30K､40K 70 0.36 ANSI 150､300､600 51 0.22 JIS 10K 81 0.49 1 1/2 JIS 20K 81 40 10 6 74 20 4 10 0.49 127.2 JIS 30K､40K 90 0.58 ANSI 150､300､600 73 0.41 JIS 10K 96 0.75 2 JIS 20K 96 50 10 6 74 20 4 10 0.75 137.2 JIS 30K､40K 105 0.86 ANSI 150､300､600 92 0.7 JIS 10K 127 1.8 3 JIS 20K 132 78 15 6 88 30 6 14 1.8 183.2 JIS 30K､40K − − ANSI 150､300､600 127 1.7 JIS 10K 151 2.5 4 JIS 20K 160 98 15 6 88 30 6 14 2.6 212.2 JIS 30K､40K − − ANSI 150､300､600 157 2.3 表.6 多孔減圧プレート HRL形外形寸法、製品質量 注. 1） ※1の面間寸法はVFR本体とガスケット（3.2m）を含みます。 2） ANSI600、JIS30K、JIS40Kは接続口径1B〜2Bでウエハー形接続のみ製作します。 図.5　HRL形　外観図 （単位：mm） 4 1 WEBサービス 製品の最新情報は www.azbil.com/jp/