5 ........ ...... .... ...... .. .. .. .... .... .. .... .. .... .. .. .... .. .... ........ ............ ........ .... ...... ............ .... .... ...... .............. ........ .... ............ .............. .... .... ...... ............ ........ .... ............ ............ .... .... ............ ............ .... .... ...... ............ .... .... .......... .............. ........ .... ............ .............. .... .... ...... ............ ........ .... .......... ............ .... .... .......... ............ .... .... .......... ............ .... .... ...... .............. .... .... ...... .............. .......... .... ............ ............ .... .... .......... ............ .......... .... .......... ............ .......... .... ...... ............ .......... .... ...... .............. .... .... ...... .............. .......... .... .......... ............ .... .... .......... ............ .......... .... .......... ........ ...... .. .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .............................................................. ................ .... ...... .......... ...... .......... ...... ...... .... ...... ...... .... ...... .... .... ...... ...... ...................................... ...... ...... ...... ...... ...... ...... ...... ...... ...... ...... .... .. ...... .............. ................ ...... ...... ...... .. .............. ................ ...... ...... .......... ...... ...... ...... ...... .... ...... .............. ................ ...... ...... ...... ...... ...... .... .............. ................ ...... ...... .......... ...... ...... ...... ...... ...... 注．1） 面間寸法（K）はISA、S75.04に適合します。またSAMA PMC23.3Aに準じます。 （Scientific Apparatus Makers Association） 　　2） Hの（　）寸法はスプリングレンジ80〜160kPaの場合です。（逆作動のみ対応） 　　3） 多孔減圧プレート仕様（内蔵形）の面間寸法は変りません。 　　4） 配管接続にはジョイントシートガスケットをご使用ください。 スパイラルガスケットをご使用の場合、下記の接続口径では規格外寸法のガスケットが 必要となりますので、外形寸法表のガスケット面内外径に合ったガスケットをご用意く ださい。 　・接続口径6B、8B、10B、12Bで圧力定格JIS20Kの場合 　・接続口径6B、8B、12Bで圧力定格ANSI150/300の場合 表.5　外形寸法、製品質量 表.5-1　ウエハー形接続 表.4-3 ソフトシート：PTFE系パッキン 表.4-3-1 正作動（Air-to-Close） フル60% 40% フル60% 40% フル60% 40% フル60% 40% 340 80〜160 2060 2060 2060 981 981 981 − − − − − − 490 80〜160 − − − − − − 981 981 981 780 780 780 表.4-2-2 逆作動（Air-to-Open） フル60% 40% フル60% 40% フル60% 40% フル60% 40% 80〜160 1180 1180 1180 − − − − − − − − − 180〜270 2060 2060 2060 981 981 981 490 490 490 340 340 340 VR3R 340 スプリング レンジ [kPa] 差圧 {上段：接続口径(B)、 下段：ポート容量} [kPa] 6B 8B 10B 12B VR3D 操作器 供給 空気圧 [kPa] 操作器 供給 空気圧 [kPa] スプリング レンジ [kPa] 差圧 {上段：接続口径(B)、 下段：ポート容量} [kPa] 6B 8B 10B 12B [単位:mm] 4 2 WEBサービス 製品の最新情報は www.azbil.com/jp/