6 図.3　ウエハー形面間および外形寸法 Ｅ..°角..度.... Ｈ.. Ｌ.. Ｌ.. Ｂ.. Ａ.. Ｌ.. Ａ.. Ａ.. Ｌ.. Ｋ.. Ｒ.. φP φM φF φC φD φD φC φF φM φP Ｎ.. Ｈ.. Ｇmax. Ｇmax. 角..度.. Ｎ.. Ａ.. Ｒ.. Ｅ..°.. Ｂ.. Ｋ.. Ｂ.. Ｂ.. 正作動.. 逆作動.. 取付姿勢：ＳＶ５１２−.. １００，１０１，５００，５０１，０１０，０１１，０２０，０２１.. 取付姿勢：ＳＶ５１２−.. ３００，３０１，７００，７０１，０５０，０５１，０６０，０６１.. 取付姿勢：ＳＶ５１２−.. ２００，２０１，６００，６０１，０３０，０３１，０４０，０４１.. 取付姿勢：ＳＶ５１２−.. ４００，４０１，８００，８０１，０７０，０７１，０８０，０８１.. 注．取付け姿勢の詳細については図.6を参照してください。 WEBサービス 製品の最新情報は www.azbil.com/jp/