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最大使用圧力［MPa］ -50 15.0 10.0 5.0 -0.0 0 50 100 150 45.0 35.0 30.0 25.0 20.0 40.0 200 250 300 接液温度範囲［℃］ 図11. ２Bウエハ形の最大使用圧力（JTH980□） 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/
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最大使用圧力［MPa］ -50 15.0 10.0 5.0 -0.0 0 50 100 150 45.0 35.0 30.0 25.0 20.0 40.0 200 250 300 接液温度範囲［℃］ 図11. ２Bウエハ形の最大使用圧力（JTH980□） 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/ | |