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性能 各性能(精度/温度特性/静圧特性)は、校正レンジの上限値(URV)(*1)と下限値(LRV)(*2)の絶対値、およびスパンの中の最大値χに 対するパーセントの値を表します。スパンに対する値は次の通りとなります。 (スパンに対する値)=(χに対する値)×(χ)/(スパン) JTH920□(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形3B (80A)、突出し形4B (100A)  精度 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×12.5 )% χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±1.36% ±(0.69+0.67×25)%    χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) JTH920□(一般用/高温用/酸素用/塩素用) 接液部材質: Alloy C-276、タンタル フランジ口径: 標準形 3B(80A) 精度 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×12.5 )%   χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±2.72% ±(1.5+1.22×25)%   χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) JTH920□ ダイアフラム厚さ 0.1mm(オプション)(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.3% ±(0.1+0.2×12.5 )% χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±1.36% ±(0.69+0.67×25)%        χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) JTH940□(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×350 )% χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 2B(50A)、突出し形 3B(80A)、2Bウエハ 精度 *3 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 注) (*1): URV とは100% (20mA DC) を出力させる測定値 (*2): LRV とは0% (4mA DC) を出力させる測定値 (*3): URV ≧0およびLRV≧0の範囲 11 1 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/