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JTH940□(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 1.5B(40A)、突出し形 2B(50A) 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 3/4B(20A)、1/2B(15A) 精度 *3 リニア出力: ±0.3% ±(0.15+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□(高温真空用/高温高真空用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□(高温真空用/高温高真空用)  接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 2B(50A)、 1.5B(40A)、突出し形 3B(80A)、2B(50A)、2Bウエハ 精度 *3 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□ ダイアフラム厚さ 0.1mm(オプション)(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.3% ±(0.1+0.2×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) JTH940□(一般用/高温用/酸素用/塩素用) 接液部材質: Alloy C-276、タンタル フランジ口径: 標準形 3B(80A) 精度 *3 リニア出力: ±0.15% ±(0.05+0.1×350 )% χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 注) (*3): URV ≧0およびLRV≧0の範囲 12 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/