310 300 60 55 10 -10 接液温度範囲［℃］ 周囲温度［℃］ 限界動作範囲 165 190 41 39 -10 10 180 45 50 正常動作範囲 正常 動作 範囲 接液部材質タンタルでフランジ口径1.5B(40A)の場合 60 69 5 -40 -10 40 75 120125 54 101.3 接液温度［℃］ 使用圧力Ｐ［kPa　abs］ 133.3 正常動作範囲 限界動作範囲 0 80 限界動作範囲 図9. 周囲温度と接液部温度（高温高真空用4、5m） ［フランジ口径：標準形　2B(50A)/1.5B(40A) 突出し形3B(80A)/2B(50A)］ 図10. 接液部の使用圧力と温度（酸素用／塩素用） 最大使用圧力［MPa］ -50 15.0 10.0 5.0 -0.0 0 50 100 150 45.0 35.0 30.0 25.0 20.0 40.0 200 250 300 接液温度範囲［℃］ 図11. ２Bウエハ形の最大使用圧力（GTX82U） 5 1 14 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/