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性能 各性能(精度/温度特性/静圧特性)は、校正レンジの上限値(URV)(*1)と下限値(LRV)(*2)の絶対値、およびスパンの中の最大値χに 対するパーセントの値を表します。スパンに対する値は次の通りとなります。 (スパンに対する値)=(χに対する値)×(χ)/(スパン) GTX35U(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形3B (80A)、突出し形4B (100A)  精度 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×12.5 )%   χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±1.3% ±(0.8+0.5×25)%        χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) GTX35U(一般用/高温用/酸素用/塩素用) 接液部材質: ASTM B575(ハステロイC-276相当)、タンタル フランジ口径: 標準形 3B(80A) 精度 リニア出力: ±0.3% ±(0.15+0.15×12.5 )%   χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±4.5% ±(1.5+3.0×25)%        χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) GTX35U ダイアフラム厚さ 0.1mm(オプション)(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.4% ±(0.1+0.3×12.5 )% χ (χ≧ 12.5kPa) (χ< 12.5kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±5.2% ±(3.2+2.0×25)%          χ (χ≧ 25kPa) (χ< 25kPa) GTX60U(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) GTX60U(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 2B(50A)、突出し形 3B(80A)、2Bウエハ 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 12 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/