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GTX71U(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 1.5B(40A)、突出し形 2B(50A) 精度 *3 リニア出力: ±0.3% ±(0.15+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) GTX60U(高温真空用/高温高真空用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) GTX60U(高温真空用/高温高真空用)  接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 2B(50A)、 1.5B(40A)、突出し形 3B(80A)、2B(50A)、2Bウエハ 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) GTX60U ダイアフラム厚さ 0.1mm(オプション)(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.4% ±(0.1+0.3×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±2.28% ±(0.76+1.52×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) GTX60U(一般用/高温用/酸素用/塩素用) 接液部材質: ASTM B575(ハステロイC-276相当)、タンタル フランジ口径: 標準形 3B(80A) 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×350 )%   χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×350)%       χ (χ≧ 350kPa) (χ< 350kPa) 注) (*1): URV とは100% (20mA DC) を出力させる測定値 (*2): LRV とは0% (4mA DC) を出力させる測定値 (*3): URV ≧0およびLRV≧0の範囲 (*4): ハステロイC-276相当。 13 1 14 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/