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GTX71U(高温真空用/高温高真空用) 接液部材質: ASTM B575 (*4)、タンタル フランジ口径: 標準形 3B(80A)、突出し形 4B(100A) 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×3.5 )%   χ (χ≧ 3.5MPa) (χ< 3.5MPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×3.5)%       χ (χ≧ 3.5MPa) (χ< 3.5MPa) GTX71U(高温真空用/高温高真空用) 接液部材質: ASTM B575(ハステロイC-276相当)、タンタル フランジ口径: 標準形 2B(50A)、1.5B(40A) 精度 *3 リニア出力: ±0.4% ±(0.4×3.5 )% χ (χ≧ 3.5MPa) (χ< 3.5MPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.9% ±(0.35+0.55×3.5)%       χ (χ≧ 3.5MPa) (χ< 3.5MPa) GTX82U(一般用/高温用/酸素用) 接液部材質: SUS316、SUS316L フランジ口径: 2Bウエハ、ボタンダイアフラム 精度 *3 リニア出力: ±0.2% ±(0.05+0.15×7 )%   χ (χ≧ 7MPa) (χ< 7MPa) 温度特性(設定レンジに対するシフト量) *3 30℃変化(-5〜55℃の範囲) 総合シフト: (ゼロ・スパンシフトを含む) ±0.57% ±(0.19+0.38×7)%       χ (χ≧ 7MPa) (χ< 7MPa) 注) (*1): URV とは100% (20mA DC) を出力させる測定値 (*2): LRV とは0% (4mA DC) を出力させる測定値 (*3): URV ≧0およびLRV≧0の範囲 (*4): ハステロイC-276相当。 16 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/