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9 (単位:mm) 端子表 記 号内 容 X 励磁入力 Y A B 流量信号出力 C ・公称口径 40〜200mm 公称口径40 50 65 80 100 125 150 200 面 間L 80 86 96 106 120 140 160 200 H1 84 93 100 108 121 133 160 185 高 さH2 43.5 52 62 67 79.5 95 110 135 H3 175 192 209 222 247 275 317 367 H4 109 118 125 133 146 158 240 210 ケース幅W 125 135 148 164 189 214 240 290 ケース外形φD 87 104 124 134 159 190 220 270 質 量(kg) 2.8 3.4 4.5 5.2 6.7 10.0 13.6 22.0 ■分離形検出器 外形寸法図(ウエハ) 2 10 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/