7 単位：mm ■外形寸法図＜検出器部＞ ウエハー形寸法図 フランジ形寸法図（10A 、15A） フランジ形寸法図（25A〜200A） 端子箱構造図 端子接続表 記号内容 X Y A B C ケース内接地端子 D種接地 ※端子ねじ寸法：M4 流量信号出力 励磁入力 ウエハー形寸法表フランジ形寸法表（JIS10Kフランジ） 口径面間 形番 L H1 H2 H3 H4 D1 D2 質量 (kg) 口径L H1 H2 H3 H4 D1 D2 t t1 cp n h ボルト質量 (kg) 25 A 94 77 34 158 102 68 24 3.7 10 160 10 5 A 80 15 200 15 5 S 98 25 200 77 63 267 102 125 24 13 19 90 4 19 M16 5.5 A 86 40 200 84 85 216 109 140 38.5 14 20 105 4 19 M16 6.5 S 104 50 200 93 90 230 118 155 50 14 20 120 4 19 M16 8.5 65 A 96 100 62 209 125 124 63 5.5 65 200 100 102 249 125 175 63 16 22 140 4 19 M16 10 A 106 80 200 108 110 265 133 185 75 16 22 150 8 19 M16 12.6 S 130 100 250 120.5 120 288 145.5 210 100 16 22 175 8 19 M16 18.4 A 120 150 300 160 175 382 185 280 147 20 26 240 8 23 M20 32.6 S 150 200 350 185 196 428 210 330 195 20 26 290 12 23 M20 48 6.4 8.2 84 93 108 120.5 67 79.5 40 174.5 109 50 80 100 222 133 43.5 52 192 118 247 145.5 159 100 134 75 87 38.5 104 50 3.8 4.4 2 18 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/