3 ■仕 様 ●基本仕様 測定流体：蒸気専用（飽和蒸気） 測定範囲と精度・リピータビリティ ［流量］ 測定可能範囲：10〜17ページの表1〜8参照 精度標準仕様：±3%rdg 　　高精度仕様：±2%rdg 流量精度保証範囲 　　　　 使用蒸気圧力　　　　 精度保証範囲 P1 [MPa_G] 0.3 ≦ P1 ≦ 2.0　 精度保証範囲の上限流量の1/10 まで 0.1 ＜ P1 ＜ 0.3　 精度保証範囲の上限流量の1/8 まで 0 ≦ P1 ≦ 0.1　 精度保証範囲の上限流量の1/5 まで リピータビリティ：流量出力の±0.5％rdg ［圧力（静圧）］ 測定可能範囲※ ：0.101〜3.5MPa abs 圧力精度：下表による 使用蒸気圧力　　 P1 [MPa_G] 精　度 0.35 ＜ P1 ≦ 2.0 ± 0.3%FS 0.17 ＜ P1 ≦ 0.35 ±（0.025 ＋ 0.275 × 0.35 ）%FS 　　　 P1 ※ 蒸気圧力を測定するため、圧力（静圧）センサには絶対圧 センサを使用しております。よって、圧力の測定可能範囲 としては、0.101MPaを大気圧と仮定した疑似的なゲージ 圧設定としております。 ［温度］ 測定可能範囲：0〜300℃※ ※アナログ出力で温度を出力する場合の出力範囲 精度：静圧値を蒸気表に代入して温度出力とし ているため精度規定はせず。 使用圧力範囲：0.1〜2.0MPa_G 耐圧：選択したウエハ・相手側フランジの定格 圧力まで 周囲温度と蒸気温度： 　　　 0 20 40 60 -20 100 150 200 250 -15 65 190 215 蒸気温度（℃） 温 （℃） 防水仕様 防爆仕様 (215,30) 周囲 度 (215,-15) (190,65) (200,50) 周囲湿度：10−90%RH（結露なきこと） 電源電圧：24VDC（16.7−45VDC） 接地：D種接地（接地抵抗100Ω以下） 取付：一体形 圧力損失：下記計算式による 蒸気圧力が0.3MPa未満の場合 Ploss = 2.5×(P1＋0.1)×50×( 　Q　 )2 　 ・MVC30A： 　　　　　　　　　　　　 Qmax Ploss = 2.5×(P1＋0.1)×40×( 　Q　 )2 　 ・MVC31A： 　　　　　　　　　　　　 Qmax 蒸気圧力が0.3MPa以上の場合 Ploss = 50×( 　Q　 )2 　 ・MVC30A： 　　　　　 Qmax Ploss = 40×( 　Q　 )2 　 ・MVC31A： 　　　　　 Qmax Ploss= 圧力損失 [kPa] P1= 流量計1次側の蒸気圧力 [MPa_G] Q= 圧力損失を求めたい流量値 [kg/h] or [m3/h] Qmax=圧力損失を求めたい静圧下におけ る精度保証範囲の最大流量値[kg/h] or [m3/h] （10〜17ページの表1〜8参照） ●構造仕様 材質 ［測定管部］ 測定管本体：SCS14A パッキン：グラファイト 接続：ウエハ形 フランジ口径：25A、40A、50A、80A、100A、150A フランジ規格：J I S 1 0 K ・2 0 K 、A N S I 1 5 0 ・3 0 0 、 JPI150・300 フランジ面座：RF（セレーション加工なし） ［発信器本体部］ メータボディ：SUS316 ダイアフラム：SUS316L SWSカバーフランジ：SCS14 パッキン：PTFE（ポリ･テトラ･フルオロ・エチレン） 発信部ケース：アルミニウム合金 発信部Oリング：クロロプレンゴム 締結用ボルト･ナット：SNB7もしくはSUS304 塗装：標準（アクリル焼付塗装） 塗装色 （発信部ケース） ：ライトベージュ（マンセル5Y7/1） （発信部カバー） ：ダークベージュ（マンセル10YR4.7/0.5） 保護等級：JIS C0920防浸形 ：IEC　IP67、NEMA　3および4X 防爆構造：TIIS Ex d IIB+H2 T4 配線接続口：G1/2（めねじ）×2ヶ所 ●信号変換部仕様 出力信号：アナログ*1出力、パルス*1出力　併用可能 出力選択 ※ ：出力は以下の3出力より選択 F仕様：アナログ（瞬時流量）＋オープンコレクタパルス（積算流量） P仕様：アナログ（飽和圧力）＋オープンコレクタパルス（積算流量） T仕様：アナログ（飽和温度）＋オープンコレクタパルス（積算流量） 　※流量出力は、流体条件が飽和蒸気であることを前提に、 STEAMcube に内蔵した蒸気表を用い、管内圧力から測定し ている蒸気の密度、飽和温度を求め、密度補正を行う擬似 質量流量出力です。 ［アナログ出力］ 出力形式：選択された出力を4−20mADC出力しま す。 ダンピングﾞ時定数：0、2、4、8、16、32秒より選択 　(63%応答) 瞬時流量、飽和圧力、飽和温度より むだ時間：0.4秒 2 23 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/