3 ■仕 様 ●基本仕様 測定流体：蒸気専用（飽和蒸気） 測定範囲と精度 ［流量］ 測定可能範囲：10〜17ページの表1〜8参照 精度標準仕様：±3%rdg 　　高精度仕様：±2%rdg 流量精度保証範囲 　　　　 使用蒸気圧力　　　　 精度保証範囲 P1 [MPa_G] 0.3 ≦ P1 ≦ 2.0　 精度保証範囲の上限流量の1/10 まで 0.1 ＜ P1 ＜ 0.3　 精度保証範囲の上限流量の1/8 まで 0 ≦ P1 ≦ 0.1　 精度保証範囲の上限流量の1/5 まで ［圧力（静圧）］ 測定可能範囲※ ：0.101〜3.5MPa abs 圧力精度：下表による 使用蒸気圧力　　 P1 [MPa_G] 精　度 0.35 ＜ P1 ≦ 2.0 ± 0.3%FS 0.17 ＜ P1 ≦ 0.35 ±（0.025 ＋ 0.275 × 0.35 ）%FS 　　　 P1 ※ 蒸気圧力を測定するため、圧力（静圧）センサには絶対圧セ ンサを使用しております。よって、圧力の測定可能範囲とし ては、0.101MPaを大気圧と仮定した疑似的なゲージ圧設定 としております。 ［温度］ 測定可能範囲：0〜300℃※ ※アナログ出力で温度を出力する場合の出力範囲 精度：静圧値を蒸気表に代入して温度出力とし ているため精度規定はせず。 リピータビリティ：流量出力の±0.5％rdg 使用圧力：選択したウエハ・フランジの定格圧力まで 周囲温度と蒸気温度： 　　　 0 20 40 60 -20 100 150 200 250 -15 65 190 215 蒸気温度（℃） 温 （℃） 防水仕様 防爆仕様 (215,30) 周囲 度 (215,-15) (190,65) (200,50) 周囲湿度：10−90%RH（結露なきこと） 電源電圧：24VDC（16.7−45VDC） 圧力損失：下記計算式による 蒸気圧力が0.3MPa未満の場合 Ploss = 2.5×(P1＋0.1)×50×( 　Q　 )2 　 ・MVC32A： 　　　　　　　　　　　　 Qmax Ploss = 2.5×(P1＋0.1)×40×( 　Q　 )2 　 ・MVC33A： 　　　　　　　　　　　　 Qmax 蒸気圧力が0.3MPa以上の場合 Ploss = 50×( 　Q　 )2 　 ・MVC32A： 　　　　　 Qmax Ploss = 40×( 　Q　 )2 　 ・MVC33A： 　　　　　 Qmax Ploss: 圧力損失 [kPa] P1: 流量計1次側の蒸気圧力 [MPa_G] Q: 圧力損失を求めたい流量値 [kg/h] or [m3/h] Qmax:圧力損失を求めたい静圧下における 精度保証範囲の最大流量値[kg/h] or [m3/h] （10〜17ページの表1〜8参照） 接地：D種接地（接地抵抗100Ω以下） 取付：分離形 ●構造仕様 材質 ［測定管部］ 測定管本体：SCS14A、SUS304（150Aのみ） サポートブリッジ：SUS304（150Aのみ） 垂直設置用 　アダプタ：SUS303 パッキン：グラファイト 接続：ウエハ形 フランジ口径：25A、40A、50A、80A、100A、150A フランジ規格：JIS10K・20K、ANSI150・300、JPI150・300 フランジ面座：RF（セレーション加工なし） ［発信器本体部］ 発信器部ケース：アルミニウム合金 発信器部Oリング：クロロプレンゴム メータボディ：SUS316 ダイヤフラム：SUS316L ボディカバー：SUSF316 キャピラリーチューブ：SUS316 SWSボディカバー：SCS14 ダイヤフラムベース：SUS316 ダイヤフラム：SUS316L パッキン：PTFE （ポリ･テトラ･フルオロ・エチレン） およびSUS316 締結用ﾎﾞﾙﾄﾅｯﾄ：SNB7もしくはSUS304 塗装：標準（アクリル焼付塗装） 塗装色 （発信部ケース） ：ライトベージュ（マンセル4Y7.2/1.3） （発信部カバー） ：ダークベージュ（マンセル10YR4.7/0.5） 保護等級：JIS C0920防浸形 ：IEC　IP67、NEMA　3および4X 防爆構造：TIIS Ex d IIB+H2 T4 配線接続口：G1/2（めねじ）×2ヶ所 ●信号変換部仕様 出力信号：アナログ*1出力、パルス*1出力　併用可能 流量出力の選択 ※：流量出力は以下の3出力より選択 F仕様：オープンコレクタパルス（積算流量）＋アナログ（瞬時流量） P仕様：オープンコレクタパルス（積算流量）＋アナログ（飽和圧力） T仕様：オープンコレクタパルス（積算流量）＋アナログ（飽和温度） 　※ 流量出力は、流体条件が飽和蒸気であることを前提に、 STEAMcube に内蔵した蒸気表を用い、管内圧力から測定し ている蒸気の密度、飽和温度を求め、密度補正を行う擬似質 量流量出力です。 2 24 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/