No. CP-SS-1809 （第11 版） SUS、SUS316モデル 気体用マスフローメータ 　 仕　様 項　目内　容 CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500 対応ガス種類空気、窒素、酸素（酸素形番のみ対応）、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A（LNGベース）、メタン（100%）、プロパン（100%）、 ブタン（100%）、アンモニア（準標準ガス形番のみ対応）、アセチレン（準標準ガス形番のみ対応）。 ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。 また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること。 アンモニアは、露点−20℃以下の乾燥気体であること。アンモニアは、空気中の水分に触れると腐食性となるため、配管内に 導入前および配管を大気に開放する前は、乾燥窒素等で十分にパージすること。 空気流量レンジ *1 0〜500mL/min （standard） 0〜2L/min （standard） 0〜5L/min （standard） 0〜20L/min （standard） 0〜50L/min （standard） 0〜200L/min （standard） 0〜500L/min （standard） standard とは、20℃・101.325kPa（1気圧）の体積流量に換算した値です。 各ガス種毎 の最大計測 流量 20℃、 101.325kPa 換算 *2 空気／ 窒素500 mL/min 2 L/min 5 L/min 20 L/min 50 L/min 200 L/min 500 L/min アルゴン500 mL/min 2 L/min 5 L/min 20 L/min 50 L/min 200 L/min 500 L/min 炭酸ガス250 mL/min 1 L/min 3.3 L/min 10 L/min 25 L/min 100 L/min 250 L/min 酸　　素 *3 500 mL/min 2 L/min 5 L/min 20 L/min 50 L/min 200 L/min 500 L/min 都市ガス13A *4 400 mL/min 1.5 L/min 4.5L/min 15 L/min 40 L/min 150 L/min 400 L/min メタン500 mL/min 2 L/min 5 L/min 20 L/min 50 L/min 200 L/min 500 L/min プロパン140 mL/min 0.5 L/min 1.7 L/min 5 L/min 14 L/min 50 L/min 140 L/min ブタン100 mL/min 0.4 L/min 1.25 L/min 4 L/min 10 L/min 40 L/min 100 L/min アンモニア *5 380 mL/min 1.52 L/min 3.85 L/min 15.2 L/min 38 L/min 152 L/min 380 L/min アセチレン *5 280 mL/min 1.12 L/min 3.05 L/min 11.2 L/min 28 L/min 112 L/min 280 L/min 計測精度 23℃、101.325kPa、空気 にて（ x は計測流量） 5≦x＜100mL/min ±1%FS±1digit 100≦x≦500mL/min ±3%RD±1digit 0.02≦x＜0.4L/min ±1%FS±1digit 0.4≦x≦2L/min ±3%RD±1digit 0.05≦x＜1L/min ±1%FS±1digit 1≦x≦5L/min ±3%RD±1digit 0.2≦x＜2L/min ±1%FS±1digit 2≦x≦20L/min ±3%RD±1digit 0.5≦x＜5L/min ±1%FS±1digit 5≦x≦50L/min ±3%RD±1digit 2≦x＜20L/min ±1%FS±1digit 20≦x≦200L/min ±3%RD±1digit 5≦x＜50L/min ±1%FS±1digit 50≦x≦500L/min ±3%RD±1digit 再現性±0.5％ FS以内 温度特性 （ 空　気　に　て） 流量レンジの0〜75% 　±0.10%FS/℃ ±1digit 以下 流量レンジの75〜100% 　±0.15%FS/℃ ±1digit 以下 概　要 気体用マスフローメータCMSシリーズは、検出部に弊社独自開 発の熱式流速センサである「μF（マイクロフロー）センサ」を使 用した、質量流量センサです。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速セ ンサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、 広い計測範囲を低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量セ ンサです。 特　長 . シリコンマイクロマシニング技術、薄膜成形技術を駆使した 「μF（マイクロフロー）センサ」を使用。 1辺わずか1.7mm、厚み0.5mmの高感度・高速応答の熱式 流速センサです。 . 質量流量計なので、温度・圧力の影響を受けません。 . ±3％ RDの高精度、100：1のハイレンジアビリティを実 現しました。 . アナログ出力は0〜5V ／1〜5V ／4〜20mAいずれかを本 体キー操作で切替できます。 . 瞬時流量表示、積算・逆積算表示機能、イベント出力機能、 積算パルス出力、積算リセット入力機能、出力スケーリング 機能、ガス種類切替機能、ガス種類設定機能などを標準装備。 幅広いアプリケーションに対応します。 1 2 25 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/