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パラメータ一覧 (ENT+▼キーを同時に3秒押す) パラメータ項 目CMS9500 CMS0002 CMS0005 CMS0020 CMS0050 CMS0200 CMS0500 単 位 P-01 イベント1 (瞬時流量の場合) 0 0 0 0 0 0 0 CMS9500:mL/min(standard)、 その他:L/min(standard) イベント1 (積算流量の場合) 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999 単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-02 イベント2 (瞬時流量の場合) 0 0 0 0 0 0 0 0〜流量レンジまで イベント2 (積算流量の場合) 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999 単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-03 イベント1 ヒステリシス 50 0.50 0.50 5.0 5.0 50 50 CMS9500:mL/min(standard)、 その他:L/min(standard) P-04 イベント2 ヒステリシス 50 0.50 0.50 5.0 5.0 50 50 CMS9500:mL/min(standard)、 その他:L/min(standard) P-05 イベント1 オンディレイ 0 0 0 0 0 0 0 秒 P-06 イベント2 オンディレイ 0 0 0 0 0 0 0 秒 P-07 逆積算初期値00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999 単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-08 ガス種補正係数1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 無単位 P-09 アナログ出力 任意スケーリング 100 100 100 100 100 100 100 10〜250 単位:% 本設定は機能設定により設定可能項目や設定範囲が変わることがあります。 詳しくは取扱説明書CP-UM-5384をご覧ください。 形番構成 ● SUS303モデル T U V W X Y Z [ \ ] . .  例 CMS9500BSRN200000 T U V W X Y Z [ \ ] . . 内 容 基本形番流量レンジ機 種材 質接 続ガス種出 力付加1 付加2 付加3 付加4 付 番 CMS 9500 空気流量レンジ0 〜 500mL/min(standard) *1 *3 0002 空気流量レンジ0 〜 2L/min(standard) *1 *3 0005 空気流量レンジ0 〜 5L/min(standard) *1 *3 0020 空気流量レンジ0 〜 20L/min(standard) *1 *3 0050 空気流量レンジ0 〜 50L/min(standard) *1 *3 0200 空気流量レンジ0 〜 200L/min(standard) *1 *3 0500 空気流量レンジ0 〜 500L/min(standard) *1 *3 B 表示付き、流れ方向 左→右 R 表示付き、流れ方向 右→左 S ステンレスSUS303 R Rc 接続(短面間)CMS200/500:1/2Rc、 CMS9500/0002/0005/0020/0050:1/4Rc N 空気/窒素(標準対応ガスに設定変更が可能 *3) S 酸素 *2 2 出力:4 〜 20mA/0 〜 5V/1 〜 5VDC 0 付加機能無し 0 付加機能無し 0 付加機能無し 1 接ガス部に禁油処理 0 付加機能無し D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/