No. CP-SS-1797 （第10 版） 水素・ヘリウムガス対応モデル 気体用マスフローメータ 仕　様 項　目内　容 形番CMS0010 CMS0050 CMS0200 CMS0500 CMS1000 CMS2000 対応ガス種類水素、ヘリウム　　ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。 また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること 流 量 レ ン ジ *1 0〜10L/min （standard） 0〜50L/min （standard） 0〜200L/min （standard） 0〜500L/min （standard） 0〜1000L/min （standard） 0〜2000L/min （standard） standard とは、20℃・101.325kPa（1気圧）の体積流量に換算した値です。 各ガス種毎の 最大計測流量 20℃ , 101.325kPa 換算 *2 水素10L/min 50L/min 200L/min 500L/min 1000L/min 2000L/min ヘリウム10L/min 50L/min 200L/min 500L/min 1000L/min 2000L/min 計測精度 23℃、101.325kPaにて （xは計測流量） 0.1≦x＜2L/min ±1％ FS±1digit 2≦x≦10L/min ±5％ RD±1digit 0.5≦x＜10L/min ±1％ FS±1digit 10≦x≦50L/min ±5％ RD±1digit 2≦x＜40L/min ±1％ FS±1digit 40≦x≦200L/min ±5％ RD±1digit 5≦x＜100L/min ±1％ FS±1digit 100≦x≦500L/min ±5％ RD±1digit 10≦x＜200L/min ±1％ FS±1digit 200≦x≦1000L/min ±5％ RD±1digit 20≦x＜400L/min ±1％ FS±1digit 400≦x≦2000L/min ±5％ RD±1digit 再現性±0.5％ FS以内 温度特性流量レンジの0〜75% ±0.10%FS/℃±1digit 以下 流量レンジの75〜100% ±0.15%FS/℃±1digit 以下 圧 力 特 性 使用圧力 0〜1.0 MPa 流量レンジ 0〜50% ±0.3%FS ／0.1MPa ±1digit 以下 ±0.1%FS ／0.1MPa ±1digit 以下 流量レンジ 50〜100％ ±3%RD ±1digit 以下 ±0.1%RD ／0.1MPa ±1digit 以下 ±0.5%RD ／0.1MPa ±1digit 以下 ±0.3%RD ／0.1MPa ±1digit 以下 ±0.5%RD ／0.1MPa ±1digit 以下 使用圧力 （負圧） −0.07〜0 MPa 流量レンジ 0〜50% ±0.5%FS ／0.01MPa ±1digit 以下 ±0.2%FS ／0.01MPa ±1digit 以下 ±0.5%FS/0.01MPa ±1digit 以下 ±0.2%FS ／0.01MPa ±1digit 以下 ±0.5%FS ／0.01MPa ±1digit 以下 流量レンジ 50〜100％ ±1%RD ／0.01MPa ±1digit 以下 ±0.5%RD／0.01MPa ±1digit 以下 ±1%RD ／0.01MPa ±1digit 以下 ±0.5%RD／0.01MPa ±1digit 以下 ±1%RD ／0.01MPa ±1digit 以下 使用温度範囲−10〜＋60℃ 保存温度範囲−20〜＋70℃ 使用湿度範囲10〜90％ RH（ただし、結露なきこと） 使用圧力範囲−0.07〜1.0MPa 未満 概　要 気体用マスフローメータCMSは、検出部に弊社独自開発の超微 小熱式流速センサである「μF（マイクロフロー）センサ」を使用 した、質量流量センサです。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速セ ンサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、 広い計測範囲を低価格で実現しました。 また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量セ ンサです。 特　長 . シリコンマイクロマシニング技術、薄膜成形技術を駆使した 「μF（マイクロフロー）センサ」を使用。 1辺わずか1.7mm、厚み0.5mmの高感度・高速応答の熱式 流速センサです。 . 質量流量計なので、温度・圧力の影響を受けません。 . ±5％ RDの高精度、高分解能を実現しました。 . アナログ出力は0〜5V ／1〜5V ／4〜20mAいずれかを本 体キー操作で切り替えできます。 . 瞬時流量表示、積算・逆積算表示機能、イベント出力機能、 積算パルス出力、積算リセット入力機能、出力スケーリング 機能、ガス種類切替機能、ガス種類設定機能などを標準装備。 幅広いアプリケーションに対応します。 1 2 26 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/