項　目内　容 形番CMS0010 CMS0050 CMS0200 CMS0500 CMS1000 CMS2000 耐圧1.5MPa 接続口径、接続規格9/16-18 UNF、Rc1/4、1/4 Swagelok、1/4VCR 形番により選択可能 3/4-16 UNF、Rc1/2、1/2 Swagelok、3/8VCR相当品 形番により選択可能 接ガス部材質SUS316、フッ素ゴム（バイトンOリング） ケース材質ポリカーボネイト 取り付け姿勢水平取り付け（ただし本体上面が下向きにならないこと）、流れ方向　左→右、垂直配管の場合、流量ゼロ時にドリフトする場 合があります。詳しくは当社までお問い合わせください。 外部リークヘリウムリークレート　1×10−6　Pa・m3/s　以下 定格電圧DC12〜24V 電源電圧範囲DC11.4〜25.2V 消費電流100mA以下 サンプリング周期100ms±10ms 表示部流量表示7セグメントLED4桁／瞬時流量・積算流量の切り替え表示 瞬時 流量 最小表示値0.01L/min 0.1L/min 1L/min 1L/min 1L/min 5L/min 表示分解能0.01L/min 0.1L/min 1L/min 1L/min 1L/min 5L/min 積算 流量 表示単位1L 10L 表示範囲0〜99999999 データ記憶10分毎にメモリに書き込み（積算値は本体キー、または外部接点入力によりリセット可能） 状態表示瞬時流量表示LED ／積算流量表示LED ／イベント表示LED 出力信号（瞬時流量出力） DC0〜5V ／1〜5V ／4〜20mA出力　本体キー操作にて変更可能 許容負荷抵抗　電圧出力：250kΩ以上　電流出力：300Ω以下 出力スケーリング機能0〜1、0〜2.5、 0〜5、0〜10L/ minから選択もし くは（10〜250％ FS、1％単位）変 更可能 出荷時設定： 0〜10L/min 0〜10、0〜 20、0〜30、0 〜50L/minから選 択もしくは（10〜 250％ FS、1％ 単位）変更可能 出荷時設定： 0〜50L/min 0〜20、0〜50、 0〜100、0〜 200L/minから選 択もしくは（10〜 250％ FS、1％ 単位）変更可能 出荷時設定： 0〜200L/min 0〜100、0〜 200、0〜300、 0〜500L/minか ら選択もしくは （10〜250％ FS、 1％単位）変更可能 出荷時設定： 0〜500L/min 0〜100、0〜 250、0〜500、 0〜1000L/min から選択もしくは （10〜250％ FS、 1％単位）変更可能 出荷時設定： 0〜1000L/min 0〜200、0〜 500、0〜1000、 0〜2000L/min から選択もしくは （10〜250％ FS、 1％単位）変更可能 出荷時設定： 0〜2000L/min イベント出力点数2点 出力定格オープンコレクタ（最大定格DC30V、50mA） イベント 機能内容 イベント番号機　能設定範囲オンディレイイベント待機 EV1（イベント1） 瞬時流量上限最大流量レンジ に対応 0〜60s可変− 起動時に流量が下限値を上回るま 瞬時流量下限○ でイベント動作を停止する機能 瞬時流量カウントアップ0〜99999999 − − 逆積算流量カウントダウン 流量データシリアル出力− エラー出力 EV2（イベント2） 瞬時流量上限最大流量レンジ に対応 0〜60s可変− 瞬時流量下限○ 瞬時流量カウントアップ0〜99999999 − − 逆積算流量カウントダウン 積算パルス出力： 　パルス幅　100ms±10％ 　パルスウエイト CMS0010/0050：1、10、100L/パルス（キー操作で変更可能） CMS0200/0500/1000/2000：10、100、1000L/パルス（キー操作にて変更可能） 瞬時流量上限／下限、積算カウントアップ、逆積算カウントダウン、積算パルス出力（イベント2のみ）、流量データシリアル出 力（イベント1のみ）、エラー出力（イベント1のみ）より選択可能 外部接点入力点数1点（積算カウントリセット専用入力） 入力仕様相手側回路形式：無電圧接点、またはオープンコレクタ 接点オフ時端子電圧：4.5V±1V 接点オン時端子電流：約0.5mA（接点に流れる電流） 許容オン接点抵抗：250Ω 許容オフ接点抵抗：100kΩ以上 許容オン残留電圧：0.8V以下（相手側オープンコレクタ時） 許容オフ漏れ電流：50μA以下（相手側オープンコレクタ時） シリアルデータ出力オープンコレクタ（最大定格　DC30V、50mA） 通信機能 （オプション） RS-485インタフェース　3線式 最大配線距離 300m、通信速度 9600/4800/2400bps　積算・瞬時流量読み出しや本器の設定が可能 ガス種切り替え機能水素、ヘリウム　本体キー操作により変更可能 ガス種類設定機能ガス種類補正係数　0.10〜8.00の範囲で本体キー操作により設定可能 電気接続専用コネクタ付きハーネス（別売部品）、適合コネクタ：ヒロセ電機（株）製　DF-11-10DS-2C 適合規格CEマーキング適合製品　EN61326-2-3：2006、EN61326-1：2006 質量約800g 約1400g 約2000g *1 水素、ヘリウムで使用した場合の流量レンジです。 また、スケーリング変更機能を装備していますので、本体キーによりアナログ出力スケーリングの変更も可能です。 *2 これ以外のガス種についても、ガス種補正係数機能により対応できるものがございます。詳細は当社までお問い合わせください。 2 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/