パラメータ一覧（ENT＋▼キーを同時に3秒押す） パラメータ項　目CMS0010 CMS0050 CMS0200 CMS0500 CMS1000 CMS2000 単　位 P-01 イベント1（瞬時流量の場合） 0 0 0 0 0 0 L/min（standard） イベント1（積算流量の場合） 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999　単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-02 イベント2（瞬時流量の場合） 0 0 0 0 0 0 0〜流量レンジまで イベント2（積算流量の場合） 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999　単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-03 イベント1 ヒステリシス50 0.50 0.50 5.0 5.0 50 L/min（standard） P-04 イベント2 ヒステリシス50 0.50 0.50 5.0 5.0 50 L/min（standard） P-05 イベント1 オンディレイ0 0 0 0 0 0 秒 P-06 イベント2 オンディレイ0 0 0 0 0 0 秒 P-07 逆積算初期値00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000 00000000〜99999999　単位は 各機種の積算流量表示単位となります。 P-08 ガス種補正係数1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 1.00 無単位 P-09 アナログ出力任意スケーリング100 100 100 100 100 100 10〜250％ 本設定は機能設定により設定可能項目や設定範囲が変わることがあります。 詳しくは取扱説明書CP-UM-5207をご覧下さい。 形番構成�T �U �V �W �X �Y �Z �[ �\ �] . . 例　CMS0010BTTH200100 �T �U �V �W �X �Y �Z �[ �\ �] . . 内　容 基本形番流量レンジ機種材質接続ガス種出力付加1 付加2 付加3 付加4 付番 CMS 気体用マスフローメータ 0010 流量レンジ0〜10L/min（standard）*1 0050 流量レンジ0〜50L/min（standard）*1 0200 流量レンジ0〜200L/min（standard）*1 0500 流量レンジ0〜500L/min（standard）*1 1000 流量レンジ0〜1000L/min（standard）*1 2000 流量レンジ0〜2000L/min（standard）*1 B 表示付き、流れ方向　左→右 R 表示付き、流れ方向　右→左 T SUS316 Ｕ UNF接続 CMS0500/1000/2000：3/4-16UNF CMS0010/0050/0200：9/16-18UNF T Rc継ぎ手接続 CMS0500/1000/2000：Rc1/2 CMS0010/0050/0200：RC1/4 Ｓ Swl接続 CMS0500/1000/2000：1/2Swagelok CMS0010/0050/0200：1/4Swagelok Ｖ VCR接続 CMS0500/1000/2000：3/8VCR CMS0010/0050/0200：1/4VCR Ｈ 水素、ヘリウム *2 2 出力：4〜20mA ／0〜5V ／1〜5VDC 0 付加機能無し 1 RS-485通信付き 0 付加機能無し 1 接ガス部に禁油処理 *1 standardとは、20℃、101.325kPaに換算した流量を表します。 *2 工場出荷時には水素に設定されています。ヘリウムにて使用する場合には、 ガス種類機能でヘリウムに設定してください。 最大計測流量は水素・ヘリウム共に同一です。 0 付加機能無し Ｄ 検査成績書付き Ｙ トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン ● 別売部品 品　名形　番内　容 専用コネクタ付きハーネス （通信なし用。CMS1台につき1本必要です。） 81446594-005 通信なし用ハーネス2m-端末処理なし 81446594-006 通信なし用ハーネス5m-端末処理なし 専用コネクタ付きハーネス （RS-485通信付用 *。CMS1台につき1本必要です。） 81446594-007 通信付き用ハーネス2m-M3.5Y端子 81446594-008 通信付き用ハーネス5m-M3.5Y端子 ACアダプタ接続ハーネス81446594-030 ACアダプタとの接続用 ACアダプタ81446957-001 ACアダプタ接続ハーネスが必要です 取付金具 （必要時にご用命ください。）　 81446628-001 CMS0010/0050/0200用 81446721-001 CMS0500/1000用 81446856-001 CMS2000用 保守用継ぎ手 （SUS316モデルのみ、継ぎ手が傷んだ場合の交換用です） 81446834-001 1/4Rc継ぎ手、2個入り 81446834-002 1/2Rc継ぎ手、2個入り 81446833-001 1/4Swagelok継ぎ手、2個入り 81446833-002 1/2Swagelok継ぎ手、2個入り 81446895-001 1/4VCR継ぎ手、2個入り 81446895-002 3/8VCR継ぎ手、2個入り * 本ハーネスは通信なし形番にもご利用いただくことが可能です。 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/