No. CP-SS-1874 （第4 版） DC電源タイプ エア管理メータ 特　長 . シリコンマイクロマシニング技術、薄膜形成技術を駆使して 製作されるμFセンサを使用し、50：1の広い計測範囲と温 度圧力補正不要な質量流量計測を実現 . 4-20mA出力、パルス出力を標準装備、MODBUS通信もオ プション装着可能 . 表示は瞬時／積算流量表示付きですので、現場での確認が可 能です。 . 水周り周辺にも設置可能な屋内防水構造（IP65）です。 . cULusを取得しています。（MCF□□□□ARNDのみ） 仕　様 ● 一般仕様 本仕様書に規定する特性は、指定のない場合、下記の条件からなる『基準状態』のものとします。 ・環境条件： 基準条件（3ページをご覧ください） ・計測流体： 空気 ・圧　力　： 0.3±0.025MPa ・流量値　： 0℃、101.325kPa（abs）の換算時の流量値 ・各種設定： 出荷時設定 ・通電状態： 電源投入してから30分以上放置後 項　目MCF0080 MCF0150 MCF0151 MCF0250 MCF0400 MCF0500 対応ガス種類空気、窒素 ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること F S 流　量 *1 [L/min] 200 500 1000 3000 6000 12000 精 度 保 証 流 量 範 囲 [L/min] *2 4〜200 10〜500 20〜1000 60〜3000 120〜6000 240〜12000 最 小 感 度 流 量 [L/min] 2 5 10 30 60 120 表示分解能 [L/min] *3 瞬時流量1 1 2 5 10 10 積算流量10 10 10 10 100 100 最大表示範囲[L/min] −60〜＋400 −150〜＋1000 −300〜＋2000 −900〜＋6000 −1800〜＋12000 −3600〜＋24000 [m3/h] −3.6〜＋24.0 −9.0〜＋60.0 −18.0〜＋120.0 −54.0〜＋360 −108.0〜＋720.0 −220.0〜＋1440.0 [m3/min] −0.060〜＋0.400 −0.150〜＋1.000 −0.300〜＋2.000 −0.900〜＋6.000 −1.800〜＋12.000 −3.600〜＋24.000 [kg/h] −4.7〜＋31.0 −11.6〜＋77.6 −23.2〜＋155.2 −70〜＋465.5 −140.0〜＋931.0 −279.0〜＋1862.0 瞬時流量表示精度±3％ FS±1digit（ただし、FS流量の0〜2％を除く） *6, *7 瞬時流量表示繰り返し性±1％ FS±1digit（FS流量の2〜100％） 温度特性±0.15％ FS/℃±1digit 以下 圧力特性使用圧力 0〜1MPa −0.25％ FS/0.1MPa±1digit以下（FS流量の2〜40％） −0.55％ FS/0.1MPa±1digit以下（FS流量の40〜100％） 使用圧力 −0.07〜0MPa ±0.25％ FS/0.01MPa±1digit以下（FS流量の2〜40％） ±0.55％ FS/0.01MPa±1digit以下（FS流量の40〜100％） 取付姿勢によ る瞬時流量表 示変化量 *4 使用圧力 0〜1MPa 0.5％ FS/0.1MPa±1digit以下（FS流量の5〜100％） 使用圧力 −0.07〜0MPa 0.5％ FS/0.01MPa±1digit以下（FS流量の5〜100％） 取付姿勢によ る瞬時流量表 示変化量 *5 使用圧力 0〜1MPa −0.5％ FS/0.1MPa±1digit以下（FS流量の5〜100％） 使用圧力 −0.07〜0MPa −0.5％ FS/0.01MPa±1digit以下（FS流量の5〜100％） 1 2 29 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/