No. CP-SS-1789 （第17 版） 大流量マスフローメータ 　 仕　様 項　目内　容 CML050 CML080 CML100 CML150 計測対象気体空気／窒素、アルゴン、都市ガス13A（LNG *1）、プロパン *2、ブタン *3、炭酸ガス、酸素、ただし腐食成分（塩素、硫黄、酸） を含まないこと。 流量レンジ （ガス種：空気／窒素の場合） 160m3/h（normal） 400m3/h（normal） 650m3/h（normal） 1600m3/h（normal） normalとは0℃、101.325kPa（1気圧） の流量に換算した値です。 計測精度 （再現性も含む総合精度） 計測流量：X m3/h（normal）の範囲により異なる。 1.0≦X＜8.0 ±3％ RD 8.0≦X≦160.0 ±2％ RD 2.5≦X＜20.0 ±3％ RD 20.0≦X≦400.0 ±2％ RD 4.0≦X＜32.5 ±3％ RD 32.5≦X≦650.0 ±2％ RD 10.0≦X＜80.0 ±3％ RD 80.0≦X≦1600.0 ±2％ RD 最小感度0.2m3/h（normal） 0.4m3/h（normal) 0.6m3/h（normal) 1.3m3/h（normal) 温 度 特 性（空気にて） 0.05％ RD/℃　ただし、−25〜＋60℃範囲内に限る。 圧 力 特 性（空気にて） 0.2％ RD ／0.1MPa　ただし、0〜1.0MPa範囲内に限る。 使用圧力範囲0〜1.0MPa未満 サンプリング周期160ms　±10％ 出力信号瞬時流量出力：DC4〜20mA（許容負荷抵抗600Ω以下）　23.2mA max 出力分解能：1/5000（約4μA）、出力精度：±0.1％ FS（FSは16mA） 接点出力 （3点） 仕様SPSTリレー接点（コモン共通） 接点定格：AC250V ／ DC30V、3A以下（抵抗負荷時） 最小開閉負荷：DC100mV、100μA 機能イベント番号機能（イベント番号毎で固定） 設定範囲動作隙間オンディレイ EV1 瞬時流量上限瞬時流量表示範囲0〜100m3/h可変可能0〜60s可変可能 EV2 瞬時流量下限または圧力低下瞬時流量下限：EV1と同様 圧力低下：0〜1000kPa - 1kPa 単位 EV3 アラーム出力（自己診断機能） − − − 概　要 大流量マスフローメータCMLシリーズは、検出部に当社独自開 発の熱式流速センサ「μFセンサ（マイクロフローTMセンサ）」を 採用した、高精度・広い計測範囲・高信頼性を特長とする気体 用の大流量質量流量計です。 マイクロマシニング技術を駆使して製作される微細な流速セン サと独自の流路設計技術との融合により、従来にない高精度と 160：1のハイレンジアビリティ・1280：1の最小感度を実 現した製品です。 特　長 . 熱式の質量流量計であり、温度・圧力の影響を受けません。 高価な温度・圧力補正機器が不要となり大幅なコスト削減が 実現できます。 . LCD表示機能、アナログ出力機能、積算演算、積算パルス出 力、警報接点出力の高機能を標準で装備し、多様なアプリケ ーションへの対応が可能です。また、通信機能を標準で装備 しており、計装コストの大幅な低減が実現できます。 . 測定部の流路壁面に高流量域用センサ、低流量域用センサを 各2個づつ90度間隔で設置しています。測定流量に応じて 高流量域／低流量域センサを交互に切替えて計測することに より、±2％ RDの高精度・160：1のハイレンジアビリテ ィを実現しています。 . 低圧力損失（max1.9kPa、一次圧力500kPa時）による計 測エネルギーロスの低減が実現できます。 . 光電式タッチセンサを採用し、ケースを開けることなく、本 器の設定変更が可能です。 . 幅広いラインナップを揃えました。 口径 50A： 160m3/h（normal *） 80A： 400m3/h（normal *） 100A： 650m3/h（normal *） 150A： 1600m3/h（normal *） * normalとは0℃、101.325kPa（1気圧）の流量に換算した値を表します。 1 2 31 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/