No. CP-SS-1862 （第3 版） 標準ガス・小流量モデル デジタルマスフローコントローラ 概　要 MQVシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサであ る「μFセンサ（マイクロフローTM センサ）」を使用し、「比例ソ レノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した 高性能デジタルマスフローコントローラです。 高速・ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした高性能・低価 格の一般産業市場向け次世代コントローラです。 特　長 . 実力値300msの高速制御。 超高速応答の「マイクロフローTM センサ」および独自のデジ タルPIDチューニングにより全閉状態から設定流量への追従 性において抜群の高速性を発揮します。 また、1次側圧力の変動にも高速で応答し、2次側流量への 影響を最小限に抑えます。 . 電源回路〜アナログ入出力間の回路を絶縁しました。PLCな どで複数のMQVをアナログ入出力にて接続する場合、PLC 側のアナログモジュールに絶縁タイプを使用する必要があり ません。またMQVへの電源供給にも共通電源が使用できま す。 . 標準仕様のまま50kPa以下の低差圧でも制御できます。 低圧での制御を要求されるバーナー空燃比制御等では、他の 追従を許しません。 . クラスを超えた1〜100％ FSの広い制御範囲を実現しまし た。 . 一体形表示付き、分離形表示付きモデルを用途に合わせてお 選びいただけます。 . 広い動作温度範囲（−10〜＋60℃）に対応しました。 . 入手の容易なDC24V汎用単一電源での駆動が可能であり、 高価な専用両電源を必要としません。 さらに、実験室などでの用途に最適なACアダプタも用意し ています。 仕　様 項　目MQV9005 MQV9020 MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050（B,C） MQV0100 バルブ方式比例ソレノイドバルブ バルブ動作非通電時−閉 （N.C.） 標準フルスケール流量　*1 5.00 mL/min （standard） 20.0 mL/min （standard） 200 mL/min （standard） 0.500 L/min （standard） 2.00 L/min （standard） 5.00 L/min （standard） 20.0 L/min （standard） 50.0 L/min （standard） 100.0L/min(standard) ガス種類空気／窒素(N2)、 酸素（O2）、アルゴン（Ar） 空気／窒素（N2）、酸素（O2）、アルゴン（Ar）、炭酸ガス（CO2）、都市ガス13A （LNG：45MJ ／ m3）、都市ガス13A（LNG：46MJ ／ m3）、メタン100％（CH4）、 プロパン100％（C3H8）、ブタン100％（C4H10） 空気／窒素(N2)、酸素(O2)、 アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2) ただし、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体であること。 また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること。 *2 制御制御範囲2〜100％ FS （別表1参照） 1〜100％ FS（別表1参照） バルブ出力更新周期5ms 応答性 （標準差圧にて） 設定±2％ FS以内に0.5s(TYP.) 設定±2％ FS以内に0.3s（TYP.） （全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時） 精度 （標準温度・標 準差圧にて、 Q：流量） *3 ±1％ FS 高精度には対応していま せん �@標準品： ±0.5％ FS（0％ FS≦Q≦50％ FS） ±1％ FS（50％ FS＜Q≦100％ FS） �A高精度品： ±0.2％ FS（0％ FS≦Q＜20％ FS） ±1％ SP（20％ FS≦Q≦100％ FS） *4 標準品： 　±1%FS（0%FS≦Ｑ≦80%FS） 　±2%FS（80%FS＜Ｑ≦100%FS） 高精度には対応していません 1 2 32 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/