項　目MQV9005 MQV9020 MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050（B,C） MQV0100 制 御再現性±0.5％ FS 高精度には対応していま せん �@標準品： ±0.25％ FS（0％ FS≦Q≦50％ FS） ±0.5％ FS（50％ FS＜Q≦100％ FS） �A高精度品： ±0.1％ FS（0％ FS≦Q＜20％ FS） ±0.5％ SP（20％ FS≦Q≦100％ FS） *4 標準品： 　±0.5%FS（0%FS≦Ｑ≦80%FS） 　±1%FS（80%FS＜Ｑ≦100%FS） 高精度には対応していません 温度影響 （ 空気にて） 1℃あたり0.06％ FS以下1℃あたり 0.08％ FS以下 1℃あたり0.06%FS以下 圧力影響 （ 空気にて） 100kPaあたり0.2 ％ FS以下100kPaあたり 0.4 ％ FS以下 100kPaあたり0.2 ％ FS以下 圧力標準差圧100kPa （入口圧：100kPa（gauge）、 出口圧：0kPa（gauge）） 200kPa （入口圧：200kPa（gauge、 出口圧：0kPa(gauge)) 150kPa （入口圧： 150kPa（gauge）、 出口圧： 0kPa（gauge）） 200kPa （入口圧：200kPa（gauge）、 出口圧：0kPa（gauge）） 300kPa (入口圧: 300kPa(gauge)、 出口圧: 0kPa(gauge)) 必要差圧 *5 5kPa 30kPa 50kPa 5kPa 50kPa 5kPa 50kPa 100kPa 250kPa 動作差圧範囲300kPa以下400kPa以下 許容入口圧0.5MPa（gauge） *6 耐圧1MPa（gauge） 温度標準動作温度＋23℃ 許容動作温度範囲−10〜＋60℃ 許容保存温度範囲−20〜＋70℃ 湿度許容動作湿度範囲10〜90％ RH（結露なきこと） 外部リークヘリウムリークレート1×10−6Pa・m3／ s以下（VCR接続の場合のみ） 流量設定設定方法�@キー入力、�A外部アナログ入力、�B専用ローダ通信 *7、�CRS-485通信（3線式） *8 設定分解能別表1（4ページ）をご覧ください。 外部アナログ入力入力レンジ：DC 0〜5V ／1〜5V ／0〜20mA ／ 4〜20mA（切替可能） 入力インピーダンス：電圧入力時 1MΩ±10％／電流入力時 250Ω±10％ 流量表示表示方法7セグメントLED 4桁 表示分解能別表1（4ページ）をご覧ください。 指示精度 （標準温度・標 準差圧にて、 Q：流量） ±1％ FS ±1digit �@標準品： ±0.5％ FS±1digit（0％ FS≦Q≦50％ FS） ±1％ FS±1digit（50％ FS＜Q≦100％ FS） �A高精度品： ±0.2％ FS±1digit（0％ FS≦Q＜20％ FS） ±1％ RD±1digit（20％ FS≦Q≦100％ FS） 標準品： 　±1%FS±1digit（0%FS≦Ｑ≦80%FS） 　±2%FS±1digit（80%FS＜Ｑ≦100%FS） 高精度には対応していません 積算機能表示範囲0.0〜 9,999,999.9mL 0〜 99,999,999mL 0.00〜 999,999.99L 0.00〜 999,999.99L 0.0〜 9,999,999.9L 0.0〜 9,999,999.9L 0〜 99,999,999L 0〜 99,999,999L 0.00〜 999,999.99m3 表示分解能0.1mL 1mL 0.01L 0.01L 0.1L 0.1L 1L 1L 0.01m3 積算バックアッ プタイミング �@50mL カウントごと �@200mL カウントごと �@2L カウントごと �@5L カウントごと �@20L カウントごと �@50L カウントごと �@200L カウントごと �@500L カウントごと �@1m3 カウントごと �A前回のバックアップから1時間経過ごと、�BRUNキー操作時 アナログ 出力 出力種類瞬時流量（PV）出力または設定流量（SP）出力（切替可能） 出力スケール0〜フルスケール流量（スケール変更可能） 出力レンジDC 0〜5V ／1〜5V ／0〜20mA ／4〜20mA（切替可能） 最大出力DC 7V以下／28mA以下（流量がレンジオーバーしたときの最大出力） 精度±0.3％ FS（総合出力精度：指示精度±0.3％ FS） 外部負荷抵抗電圧出力時：250kΩ以上、電流出力時：300Ω以下 アラーム： イベント 出力 出力数アラーム出力：1点、イベント出力：2点 出力定格DC30V 30mA 最大（オープンコレクタ非絶縁出力） 積算パルス出力パルス幅100mS±10％（積算パルス出力を選択時） 積算パルス出力レート0.1mL/1パルス1mL/1パルス0.01L/1パルス0.1L/1パルス1L/1パルス0.01m3／1パルス 外部切替え 入力 入力種類、入力数外部3段切替入力：1点、外部接点入力（2段切り替え）：3点 相手側回路形式無電圧接点、又はオープンコレクタ 接点オフ時端子電圧外部3段切替入力：2.5±0.5V、外部接点入力：2.8±0.5V 接点オン時端子電流約0.5mA（接点に流れる電流） 許容オン接点抵抗最大250Ω 許容オフ接点抵抗最小100kΩ 許容オン残留電圧最大1.0V（相手側オープンコレクタ時） 許容オフ漏れ電流最大50μA（相手側オープンコレクタ時） 基準電圧 出力 出力定格DC 5.0V±5％ 5mA最大 用途流量設定電圧の基準電圧および外部3段切替入力の5V入力 通信方式�@専用ローダ通信 *7　�ARS-485通信（3線式） *8 伝送速度2400、4800、9600、19200、38400bps（ローダ通信は19200bpsだけ） 2 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/