形番構成表 ● 標準ガスモデル小流量 基本形番流量 レンジ 機　種ボディ 材質 接　続ガス 種類 付加機能付　番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 9005 0.10〜5.00mL/min（standard） *1, *4 9020 0.2〜20.0mL/min（standard） *1, *4 9200 2〜200mL/min（standard） *1, *4 9500 0.004〜0.500L/min（standard） *1, *4 0002 0.02〜2.00L/min（standard） *1, *4 0005 0.04〜5.00L/min（standard） *1, *4 0020 0.2〜20.0L/min（standard） *1, *4 0050 0.4〜50.0L/min（standard） *1, *4 B 一体形表示モデル、流路面間寸法：90mm C 分離形表示モデル、流路面間寸法：90mm S SUS316 R 1/4Rc（MQV9005、MQV9020では選択できません） S 1/4Swagelok V 1/4VCR U 9/16-18 UNF（MQV9005、MQV9020では選択できません） N 空気／窒素 *2 S 酸素 *3 0 なし 0 なし 1 RS-485（CPL）通信機能付き 0 なし 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 *5 0 なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン 基本形番流量 レンジ 機　種ボディ 材質 接　続ガス 種類 付加機能付　番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 0100 1.0〜100.0 L/min(standard) *1, *4 B 一体形表示器付き、流路面間寸法：90mm C 分離形表示器付き、流路面間寸法：90mm S SUS316 R 1/4Rc S 3/8-Swagelok U 9/16-18UNF N 空気／窒素 *6 S 酸素 *7 0 付加機能なし 0 付加機能なし 1 RS-485通信機能付き(CPL通信) 0 付加機能なし 0 付加機能なし 1 接ガス部に禁油処理 *5 0 付加機能なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン 8 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/