● 標準ガスモデル小流量　高精度品 基本形番流量 レンジ 機　種ボディ 材質 接　続ガス 種類 付加機能付　番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 9200 2〜200mL/min（standard） *1, *4 9500 0.004〜0.500L/min（standard） *1, *4 0002 0.02〜2.00L/min（standard） *1, *4 0005 0.04〜5.00L/min（standard） *1, *4 0020 0.2〜20.0L/min（standard） *1, *4 0050 0.5〜50.0L/min（standard） *1, *4 B 一体形表示モデル、流路面間寸法：90mm C 分離形表示モデル、流路面間寸法：90mm S SUS316 R 1/4Rc S 1/4Swagelok V 1/4VCR 1 空気／窒素 *2 2 酸素 *3 S 高精度 0 なし 1 RS-485（CPL）通信機能付き 0 なし 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 *5 Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン *1 mL/min(standard)およびL/min(standard)は20℃、101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量(mL/minおよびL/min)を表し ます。なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも設定変更できます。 *2 出荷時には空気／窒素用に初期設定されていますが、設定変更によりアルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A（LNG：45MJ/m3、LNG： 46MJ/m3）、プロパン100％、メタン100％、ブタン100％にも対応できます。 *3 出荷時には酸素用に初期設定されていますが、設定変更により空気／窒素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A（LNG：45MJ/m3、 LNG：46MJ/m3）、プロパン100％、メタン100％、ブタン100％にも対応できます。 ただし、一度でも酸素以外のガスに使用した場合は、酸素ガスに使用することは絶対にしないでください。 *4 ガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。別表1.　制御流量レンジと設定表示分解能 をご覧ください。 *5 ガス種類で酸素ガスを選択した場合は付加機能４で「1：接ガス部に禁油処理」以外選択できません。 *6 出荷時には空気／窒素に設定されていますが、設定変更により（アルゴン（Ar）、炭酸ガス（CO2）にも対応できます。 *7 出荷時には酸素用に初期設定されていますが、設定変更により空気／窒素、アルゴン、炭酸ガス（CO2）にも対応できます。 ただし、一度でも酸素以外のガスに使用した場合は、酸素ガスに使用することは絶対にしないでください。 9 2 32 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/