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形番構成表 ● 標準ガスモデル中流量 基本形番流量 レンジ 機 種ボディ 材質 接 続ガス 種類 付加機能付 番内 容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 0050 0.4〜50.0L/min(standard) *1, *4 0200 2〜200L/min(standard) *1, *4 0500 4〜500L/min(standard) *1, *4 J 一体形表示モデル、流路面間寸法:150mm K 分離形表示モデル、流路面間寸法:150mm S SUS316 R 1/2Rc S 1/2Swagelok V 3/8VCR U 3/4-16 UNF N 空気/窒素(標準対応ガスに設定変更可能) *2 S 酸素 *3 0 なし 0 なし 1 RS-485(CPL)通信機能付き 0 なし 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 *5 0 なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン ● 標準ガスモデル中流量 高精度品 基本形番流量 レンジ 機 種ボディ 材質 接 続ガス 種類 付加機能付 番内 容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 0200 2〜200L/min(standard) *1, *4 0500 4〜500L/min(standard) *1, *4 J 一体形表示モデル、流路面間寸法:150mm K 分離形表示モデル、流路面間寸法:150mm S SUS316 R 1/2Rc S 1/2Swagelok V 3/8VCR 1 空気/窒素 *2 2 酸素 *3 S 高精度 0 なし 1 RS-485(CPL)通信機能付き 0 なし 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 *5 Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン *1 L/min(standard)は20℃、101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量(L/min)を表します。なお、基準温度を0℃、25℃、35℃ にも設定変更できます。 *2 出荷時には空気/窒素用に初期設定されていますが、設定変更によりアルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3、LNG: 46MJ/m3)、プロパン100%、メタン100%、ブタン100%にも対応できます。 *3 出荷時には酸素用に初期設定されていますが、設定変更により空気/窒素、アルゴン、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG:45MJ/m3、 LNG:46MJ/m3)、プロパン100%、メタン100%、ブタン100%にも対応できます。 ただし、一度でも酸素以外のガスに使用した場合は、酸素ガスに使用することは絶対にしないでください。 *4 ガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。別表1. 制御流量レンジと設定表示分解能 をご覧ください。 *5 ガス種類で酸素ガスを選択した場合は付加機能4で「1:接ガス部に禁油処理」以外選択できません。 8 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/