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● 分離形表示付きモデル(本体)  . 中流量モデル (単位:mm) 2-Swagelok社製継手 SS-810-1-8STSC11 3/4-16UNF 接続タイプ Rc1/2 接続タイプ 1/2Swagelok 接続タイプ 3/8VCR 接続タイプ 25 (150) 25 2-1/2Rc継手 HEX 26 (30.7) (150) (30.7) (31.5) (150) (31.5) 2-3/8-VCR Swagelok社製継手 SS-8-VCR-1-8STSC11 または相当品 Digital Mass Flow Controller 1:POWER(24V) 2:POWER(24V) 3:POWER GND 4:POWER GND 5:TEST 6:D.GND 7:DA 8:DB 9:D.GND 10:ALM OUT 11:EV1 OUT 12:EV2 OUT 13:DI 1 14:DI 2 15:DI 3 16:MODE INPUT 17:FLOW SP INPUT 18:A.GND 19:FLOW OUT 20:+5V(5mA max) Pin Assign MADE IN JAPAN 適用パイプ:外径 1/2       材質 SUS316 ACアダプタ用 ジャック MQV0500 4×M4 ねじ深さ 5min 2-3/4-16UNF 形 番h1 h2 h3 h4 h5 172 151 145 102 45 173 152146 103 46 11.5±0.5 27±0.5 25.3±0.5 110±0.5 44 22 50 25 23.2 h5 h2 (150) h4 150 20.5 42.5 h1 h3 5.2 7.3 3.4 61.1 5.9 ローダ用 ジャック 4 MQV0050 MQV0200 10 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/