No. CP-SS-1864 （第3 版） 準標準ガスモデル デジタルマスフローコントローラ 　 概　要 MQVシリーズは、検出部に弊社独自開発の熱式流速センサであ る「μFセンサ（マイクロフローTM センサ）」を使用し、「比例ソ レノイドバルブ」と高度なアクチュエータ制御技術を融合した 高性能デジタルマスフローコントローラです。 準標準ガスモデルは、EPDMのOリングを使用しており、アセ チレン、アンモニアでの使用を可能としたモデルです。 特　長 . 実力値300msの高速制御。 超高速応答の「マイクロフローTM センサ」および独自のデジ タルPIDチューニングにより全閉状態から設定流量への追従 性において抜群の高速性を発揮します。 また、1次側圧力の変動にも高速で応答し、2次側流量への 影響を最小限に抑えます。 . 電源回路〜アナログ入出力間の回路を絶縁しました。PLCな どで複数のMQVをアナログ入出力にて接続する場合、PLC 側のアナログモジュールに絶縁タイプを使用する必要があり ません。またMQVへの電源供給にも共通電源が使用できま す。 . 標準仕様のまま50kPa以下の低差圧でも制御できます。 低圧での制御を要求されるバーナー空燃比制御等では、他の 追従を許しません。 . クラスを超えた1〜100％ FSの広い制御範囲を実現しまし た。 . 一体形表示付き、分離形表示付きモデルを用途に合わせてお 選びいただけます。 . 広い動作温度範囲（−10〜＋60℃）に対応しました。 . 入手の容易なDC24V汎用単一電源での駆動が可能であり、 高価な専用両電源を必要としません。 さらに、実験室などでの用途に最適なACアダプタも用意し ています。 仕　様 項　目MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050（B,C） MQV0200 MQV0500 バルブ方式比例ソレノイドバルブ バルブ動作非通電時−閉（N.C.） 標準フルスケール流量 *1 200 mL/min （standard） 0.500 L/min （standard） 2.00 L/min （standard） 5.00 L/min （standard） 20.0 L/min （standard） 50.0 L/min （standard） 200 L/min（standard） 500 L/min（standard） ガス種類空気／窒素（N2）、アルゴン（Ar）、炭酸ガス（CO2）、アセチレン（C2H2）、アンモニア（NH3） *2 ただし、塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まない乾燥気体であること。 また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること。 アンモニアは露点マイナス20℃以下の乾燥気体であること。*3 制御制御範囲1〜100％ FS（別表1参照） バルブ出力更新周期5ms 応答性 （標準差圧にて） 設定±2％ FS以内に0.3s（TYP.） 設定±2％ FS以内に0.7s（TYP.) （全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時） 精度 （標準温度・標 準差圧にて、 Q：流量） *4 ±0.5％ FS（0％ FS≦Q≦50％ FS） ±1％ FS（50％ FS＜Q≦100％ FS） ±0.5％ FS（0％ FS≦Q≦40％ FS） ±1％ FS（40％ FS＜Q≦80％ FS） ±1.5％ FS（80％ FS＜Q≦100％ FS） 1 2 34 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/