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項 目MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 MQV0020 MQV0050(B,C) MQV0200 MQV0500 電源定格DC 24V、消費電流300mA 最大DC 24V、 消費電流400mA 最大 DC 24V、 消費電流500mA 最大 許容電源電圧範囲DC 21.6〜26.4V @DC 21.6〜 26.4V  (−10℃≦T≦40℃) ADC 23.5〜 26.4V  (40℃<T≦60℃) @DC 21.6〜 26.4V  (−10℃≦T≦35℃) ADC 23.5 〜 26.4V  (35℃<T≦50℃) (リップル 5%以下) アイソレーション電源回路と入出力回路は絶縁されています 接ガス部材質US316、テフロン、EPDM(エチレンプロピレンゴム) 接続方式Rc1/4、1/4Swagelok、1/4VCR 1/2Swagelok 取付姿勢水平取り付け、ただし設定表示部面が下向きにならないこと 質量約1.2kg 約3.5kg 適合規格EN61326-1:2006、EN61326-2-3:2006 *1 mL/minおよびL/min(standard)は20℃、101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量(mL/minおよびL/min)を表します。 なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも変更できます。また、この流量は空気/窒素での値でありガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。 4ページの別表1をご覧ください。 *2 本製品はこれらのガス以外には絶対に使用しないでください。本製品はシール部に EPDMのOリングを用いており、これらのガス以外で使用するとOリング のシール性が損なわれる恐れがあります。 *3 本器内に異物が流入しないようにしてください。配管内の錆・水滴・オイルミスト・埃などが流入すると、計測・制御誤差の発生や本器の破損につながる恐 れがあります。 異物が流入する可能性がある場合には、本器の上流側に0.1μm以上の異物除去能力を有するフィルタ・ストレーナ・ミストトラップなどを設置し、定期的 に点検・交換を行ってください。 *4 空気/窒素での精度です。その他のガスで使用した場合の精度については当社にお問い合わせください。 *5 フルスケール流量を制御するのに必要な差圧です。(条件:出口圧=0kPa(gauge)) 必要差圧以下でも動作可能です。ただし制御可能な流量レンジが狭くなります。5ページのグラフ(バルブ全開時の差圧と流量の関係)をご覧ください。 *6 入口圧0.5MPa(gauge)以上での使用可否については当社にお問い合せください。 *7 MQV0200/0500の最大動作差圧は電源電圧によっても変わります。6ページのグラフ(電源電圧と最大動作差圧の関係)をご覧ください。 *8 別売の専用ローダパッケージ(MLP100A100)が必要です。 *9 RS-485通信機能オプション付きモデルだけ使用できます。 機能一覧 機 能内 容 流量積算機能最大8桁(99,999,999カウント)までの流量積算が可能。(表示単位は仕様一覧表を参照ください。) アラームランプ点灯機能/ 出力/遮断 設定流量と瞬時流量の偏差に対する上限・下限の流量アラーム、バルブ駆動電流値アラームの設定が可能です。アラー ム時、バルブの強制全閉/開が可能です。 OKランプ点灯制御流量が「設定値±許容範囲」に収まっている場合、ランプを点灯/出力させる機能です。 イベントランプ 点灯/出力 ・積算カウントアップ出力 ・積算パルス出力 ・OK出力 ・動作モード出力 上記の機能から2つのイベント出力が選択可能です。 自動遮断機能下記条件によりバルブを自動閉止する機能です。 ・積算カウント値が設定値に達した時 ・流量アラームを含むすべてのアラームの内のいずれかが発生した時 注)本器のバルブは完全な閉止能力はありませんので完全閉止が必要な場合は別途遮断弁を設けてください。 積算カウント自動リセット機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力により制御開始と積算カウントのリセットを同時に行う機能です。 バルブ強制開閉機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力によりバルブを全開/閉できる機能です。 マルチSP設定機能あらかじめ記憶させた最大8個の流量設定をキー操作もしくは、外部スイッチ入力で切替えることができます。 ダイレクト設定機能複雑な操作を行わずに▲▼キーのみで設定値を変更できます。 フルマルチ・レンジ設定機能標準レンジの1/10までの範囲で、1% FS単位で制御レンジを任意に設定可能としました。用途に合わせて自由に制 御レンジを変更できます。また、予め2種類の制御レンジを設定し、外部スイッチにて切り替えることが可能です。設 定分解能の変更を目的としても利用できます。 スロースタート機能制御開始時もしくは、設定流量変更時の制御流量の急激な変化を抑えることができます。 ガス種切替機能キー操作により標準対応ガスの中から使用するガス種を選択可能です。また予め2つのガス種類を選択し、外部スイッ チ入力で切り替えることが可能です。 ガス種設定機能特殊/混合ガスについては、補正係数(CF)を設定することで対応も可能です。 SPランプ機能制御開始時、設定変更時のSP変化勾配を2種類設定することができます。また外部スイッチと組み合わせて、外部か ら勾配を変更することも可能です。 バルブ駆動電流アラーム機能比例バルブを駆動する電流値をモニタ、アラーム出力させる機能です 注)バルブ駆動電流値は設定流量が同一の場合にも、差圧の大きさなどにより変動しますので取扱いにはご注意ください。 ローダ通信機能ローダ通信用の通信ポートを標準装備しています。別売の専用ローダパッケージ(MLP100A100)を使用し、パソコ ンと1対1で通信ができます。(各種の設定およびモニタをパソコン画面上で行うことができます) RS-485通信機能(オプション) オプションで3線式RS-485通信にも対応することができます。(伝送速度:2400〜38400bps) 3 2 34 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/