別表1.　 制御流量レンジと設定・表示分解能（単位　MQV9200：mL/min (standard)、左記機種以外：L/min (standard)） ガス種 MQV9200 MQV9500 MQV0002 MQV0005 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 空気／窒素2〜200 1 0.004〜0.500 0.002 0.02〜2.00 0.01 0.04〜5.00 0.02 酸素2〜200 1 0.004〜0.500 0.002 0.02〜2.00 0.01 0.04〜5.00 0.02 アルゴン2〜200 1 0.004〜0.500 0.002 0.02〜2.00 0.01 0.04〜5.00 0.02 炭酸ガス1.0〜120.0 0.5 0.003〜0.300 0.001 0.010〜1.200 0.005 0.03〜3.00 0.01 アセチレン（C2H2） *1 1.0〜120.0 0.5 0.003〜0.300 0.001 0.010〜1.200 0.005 0.03〜3.00 0.01 アンモニア（NH3） *1 2〜160 1 0.004〜0.400 0.002 0.02〜1.60 0.01 0.04〜4.00 0.02 ガス種 MQV0020 MQV0050(B,C) MQV0200 MQV0500 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 制御流量 レンジ 設定・表示 分解能 *2 空気／窒素0.2〜20.0 0.1 0.4〜50.0 0.2 2〜200 1 4〜500 2 酸素0.2〜20.0 0.1 0.4〜50.0 0.2 2〜200 1 4〜500 2 アルゴン0.2〜20.0 0.1 0.4〜50.0 0.2 2〜200 1 4〜500 2 炭酸ガス0.10〜12.00 0.05 0.3〜30.0 0.1 1〜120 0.5 4〜400 2 アセチレン（C2H2） *1 0.10〜12.00 0.05 0.3〜30.00 0.1 1.0〜120.0 0.5 4〜400 2 アンモニア（NH3） *1 0.2〜16.0 0.1 0.4〜40.0 0.2 2〜160 1 4〜400 2 *1 アセチレン、アンモニアのコンバージョンファクタはガスの物性値より計算された推測値であり、これらのガスには仕様に記載されている精度保 証は適用されません。 ただし、再現性は仕様に記載された値と同様となります。 流量精度が必要な用途の場合はお客さまにてCF値を検証いただいた上でご使用ください。 *2 アナログ信号で設定入力及び流量出力を行う場合は分解能は大幅に向上しますので当社までお問い合せください。 4 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/