形番構成表 ● 準標準ガスモデル小流量 基本形番流量 レンジ 機　種ボディ 材質 接　続ガス 種類 付加機能付　番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 9200 2〜200mL/min（standard） *1, *3 9500 0.004〜0.500L/min（standard） *1, *3 0002 0.02〜2.00L/min（standard） *1, *3 0005 0.04〜5.00L/min（standard） *1, *3 0020 0.2〜20.0L/min（standard） *1, *3 0050 0.4〜50.0L/min（standard） *1, *3 B 一体形表示モデル、流路面間寸法：90mm C 分離形表示モデル、流路面間寸法：90mm S SUS316 R 1/4Rc S 1/4Swagelok V 1/4VCR E 準標準ガス *2 0 なし 0 なし 1 RS-485（CPL）通信機能付き 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 0 なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン ● 準標準ガスモデル中流量 基本形番流量 レンジ 機　種ボディ 材質 接　続ガス 種類 付加機能付　番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 0200 2〜200L/min（standard） *1, *3 0500 4〜500L/min（standard） *1, *3 J 一体形表示モデル、流路面間寸法：150mm K 分離形表示モデル、流路面間寸法：150mm S SUS316 S 1/2Swagelok E 準標準ガス *2 0 なし 0 なし 1 RS-485（CPL）通信機能付き 0 なし 1 接ガス部に禁油処理 0 なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明書付き 0 製品バージョン *1 mL/min(standard)およびL/min(standard)は20℃、101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量(mL/minおよびL/min)を表し ます。なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも設定変更できます。 *2 出荷時には空気／窒素用に初期設定されていますが、設定変更によりアルゴン、炭酸ガス(CO2)、アセチレン(C2H2)、アンモニア(NH3)にも対応 できます。 *3 ガスの種類により制御可能な流量レンジが異なります。別表1.　制御流量レンジと設定表示分解能 をご覧ください。 9 2 34 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/