外形寸法図 ● 一体形表示付きモデル 　. 小流量モデル （単位：mm） OK SP PV L Digital Mass Flow Controller L/min ALM EV1 EV2 RUN ENT ▲ ▼ ▲ DISP 37 2-9/16-18UNF 44 81 22 18.5 15.5 ( 141.4) 2-Rc1/4継手 2-Swagelok社製継手 SS-400-1-6-STAUSC11 23.5 23.5 (25.7) (25.7) (137) HEX21 HEX9/16 1/4Rc 接続タイプ（オプション） 1/4Swagelok 接続タイプ（オプション） 30±0.5 30±0.5 15±0.5 11±0.5 2×M4　ねじ深さ5min 130 90 102 (137.8) (23.9) (23.9) 1/4VCR 接続タイプ（オプション） SS-4-VCR-1-00032-EP-SC11 7.3 47.8 ローダ用 ジャック 10 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/