. 中流量モデル （単位：mm） 2-Swagelok社製継手 SS-810-1-8STAUSC11 1/2Swagelok 接続タイプ 4 （30.7） （150） （30.7） 適用パイプ：外径 1/2 　　　　　　材質 SUS316 Digital Mass Flow Controller 1：POWER(24V) 2：POWER(24V) 3：POWER GND 4：POWER GND 5：TEST 6：D.GND 7：DA 8：DB 9：D.GND 10：ALM OUT 11：EV1 OUT 12：EV2 OUT 13：DI 1 14：DI 2 15：DI 3 16：MODE INPUT 17：FLOW SP INPUT 18：A.GND 19：FLOW OUT 20：+5V(5mA max) Pin Assign MADE IN JAPAN ローダ用 ジャック ACアダプタ用 ジャック Digital Mass Flow Controller L/min m PV SP OK ALM EV1 EV2 4×M4 ねじ深さ　5min 3 5.9 61.1 3.4 7.3 5.2 11.5±0.5 27±0.5 25.3±0.5 110±0.5 44 22 50 25 23.2 h1 (150) h3 h2 150 RUN ▲ ▼ ▲ ENT DISP 2-3/4-16UNF MQV0200 MQV0500 形　番h1 h2 h3 h4 151 145 102 45 152 146 103 46 11 2 34 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/