. 中流量モデル （単位：mm） 2-Swagelok社製継手 SS-810-1-8STAUSC11 1/2Swagelok 接続タイプ （30.7） （150） （30.7） Digital Mass Flow Controller 1：POWER(24V) 2：POWER(24V) 3：POWER GND 4：POWER GND 5：TEST 6：D.GND 7：DA 8：DB 9：D.GND 10：ALM OUT 11：EV1 OUT 12：EV2 OUT 13：DI 1 14：DI 2 15：DI 3 16：MODE INPUT 17：FLOW SP INPUT 18：A.GND 19：FLOW OUT 20：+5V(5mA max) Pin Assign MADE IN JAPAN 適用パイプ：外径 1/2 　　　　　　材質 SUS316 ACアダプタ用 ジャック 2×M4 ねじ深さ 5min 2-3/4-16UNF 11.5±0.5 27±0.5 25.3±0.5 110±0.5 44 22 50 25 23.2 h5 h2 (150) h4 150 20.5 42.5 h1 h3 5.2 7.3 3.4 61.1 5.9 ローダ用 ジャック 4 MQV0200 MQV0500 形　番h1 h2 h3 h5 172 151 145 45 173 152 146 h4 102 103 46 13 2 34 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/