仕　様 項　目MQV9020 MQV9050 MQV9500 MQV0005 MQV0010 MQV0050 MQV0200 MQV0500 MQV1000 バルブ方式比例ソレノイドバルブ バルブ動作非通電時−閉（N.C.） 標準フルスケール流量 *1 20.0m L/min （standard） 50.0m L/min （standard） 0.500 L/min （standard） 5.00 L/min （standard） 10.00 L/min （standard） 50.0 L/min （standard） 200 L/min （standard） 500 L/min （standard） 1000 L/min （standard） ガス種類水素（H2）、ヘリウム（He） ただし、塩素、硫黄、酸などの腐食成分を含まない乾燥気体であること また、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること 制御制御範囲1〜100％ FS　別表1（4ページ）をご覧ください バルブ出力 更新周期 5ms 応答性 （標準差圧にて） 設定±2％ FS以内に0.5s（TYP.） 設定±2％ FS以内に0.3s（TYP.） 設定±2％ FS以内に0.7s（TYP.） （全閉状態から制御を開始したとき、および制御中に設定を変更したとき） 精度 （ 標準温度、 標準差圧に て、Q： 流量） �@±1％ FS （ 50％ FS＜Q≦100％ FS） �A±0.5％ FS （ 0％ FS＜Q≦50％ FS） ±1％ FS �@±2.0％ FS（80％ FS＜Q≦100％ FS） �A±1.0％ FS（40％ FS＜Q≦80％ FS） �B±0.5％ FS（0％ FS≦Q≦40％ FS） �@ ±2％ FS （80％ FS＜Q≦100％ FS） �A ±1％ FS （0％ FS≦Q≦80％ FS） 再現性 （Q： 流　量） �@±0.5％ FS （ 50％ FS＜Q≦100％ FS） �A±0.25％ FS （ 0％ FS＜Q≦50％ FS） ±0.5％ FS �@±0.5％ FS（40％ FS＜Q≦100％ FS） �A±0.25％ FS（0％ FS≦Q≦40％ FS） �@ ±1.0％ FS （80％ FS＜Q≦100％ FS） �A ±0.5％ FS （0％ FS≦Q≦80％ FS） 温度影響 （ 水素にて） 1℃あたり0.06％ FS 以下 圧力影響 （ 水素にて） 100kPaあたり0.2％ FS以下 圧力標準差圧 100kPa（入口圧：100kPa（gauge）、 出口圧：0kPa（gauge）） 200kPa（入口圧：200kPa（gauge）、出口圧：0kPa（gauge）） 必要差圧 *2 �@水素：2.5kPa �Aヘリウム：5kPa �@ 水素： 10kPa �A ヘリウム： 20kPa �@水素：20kPa �Aヘリウム：40kPa �@ 水素： 80kPa �A ヘリウム： 150kPa �@ 水素： 20kPa �A ヘリウム： 40kPa �@ 水素： 100kPa �A ヘリウム： 180kPa �@ 水素： 40kPa �A ヘリウム： 80kPa �@ 水素： 150kPa �A ヘリウム： 250kPa 動作差圧範囲 （T：動作温度） 300kPa以下（−10℃≦T≦60℃） �@300kPa以下 　（−10℃≦T≦40℃） �A180kPa以下 　（40℃＜T≦60℃） 　（条件：電源電圧 　＝24.0V） *6 許容入口圧0.5MPa *3 耐圧（許容入口圧） 1MPa（gauge） 温度標準動作温度＋23℃ 許容動作温度範囲−10〜＋60℃ 許容保存温度範囲−20〜＋70℃ 湿度許容動作湿度範囲10〜90％ RH（結露なきこと） 外部リークヘリウムリークレート1×10−6Pa･m3/s 以下 流量設定設定方法�@キー入力、�A外部アナログ入力、�B専用ローダ通信 *4、�CRS-485通信（3線式） *5 設定分解能別表1（4ページ）をご覧ください 外部アナログ入力入力レンジ：DC0〜5V ／1〜5V ／0〜20mA ／4〜20mA（切替可能） 入力インピーダンス：電圧入力時1MΩ±10％／電流入力時250Ω±10％ 流量表示表示方法7セグメントLED　4桁 表示分解能別表1（4ページ）をご覧ください 指示精度 （標準温度、標準差 圧にて、Q：流量） �@±1％ FS±1 digit 　（50％ FS＜Q≦100％ FS） �A±0.5％ FS±1 digit 　（0％ FS≦Q≦50％ FS） ±1％ FS±1 digit �@±2％ FS±1 digit（ 80％ FS＜Q≦100％ FS） �A±1％ FS±1 digit（ 40％ FS＜Q≦80％ FS） �B±0.5％ FS±1 digit（ 0％ FS≦Q≦40％ FS） �@ ±2％ FS±1 digit （80％ FS＜Q≦100％ FS） �A ±1％ FS±1 digit （0％ FS≦Q≦80％ FS） 積算機能表示範囲0〜99,999,999mL 0.00〜 999,999.99L 0.0〜 9,999,999.9L 0〜 99,999,999L 0〜 99,999,999L 0.01〜 999,999.99m3 0.01〜 999,999.99m3 0.1〜 9,999,999.9m3 表示分解能1mL 0.01L 0.1L 1L 1L 0.01m3 0.01m3 0.1m3 積算バックアップ タイミング �@200mL カウントごと �@500mL カウントごと �@5L カウントごと �@50L カウントごと �@100L カウントごと �@500L カウントごと �@2m3 カウントごと �@5m3 カウントごと �@10m3 カウントごと �A前回のバックアップから1時間経過ごと、�BRUNキー操作時 2 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/