機能一覧 機　能内　容 流量積算機能最大8桁（99,999,999カウント）までの流量積算が可能。（表示単位は仕様一覧表を参照ください。） アラームランプ点灯機能 ／出力／遮断 設定流量と瞬時流量の偏差に対する上限・下限の流量アラーム、バルブ駆動電流値アラームの設定が可能です。 アラーム時、バルブの強制全閉／開が可能です。 OKランプ点灯制御流量が「設定値±許容範囲」に収まっている場合、ランプを点灯／出力させる機能です。 イベントランプ 点灯／出力 ・積算カウントアップ出力 ・積算パルス出力 ・OK出力 ・動作モード出力 上記の機能から2つのイベント出力が選択可能です。 自動遮断機能下記条件によりバルブを自動閉止する機能です。 ・積算カウント値が設定値に達した時 ・流量アラームを含むすべてのアラームの内のいずれかが発生した時 注）本器のバルブは完全な閉止能力はありませんので完全閉止が必要な場合は別途遮断弁を設けて下さい。 積算カウント自動リセット機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力により制御開始と積算カウントのリセットを同時に行う機能です。 バルブ強制開閉機能キー操作もしくは、外部スイッチ入力によりバルブを全開／閉できる機能です。 マルチSP設定機能あらかじめ記憶させた最大8個の流量設定をキー操作もしくは、外部スイッチ入力で切替えることができます。 ダイレクト設定機能複雑な操作を行わずに▲▼キーのみで設定値を変更できます。 フルマルチ・レンジ設定 機能 標準レンジの1/10までの範囲で、1％ FS単位で制御レンジを任意に設定可能としました。用途に合わせて自由に制 御レンジを変更できます。また、予め2種類の制御レンジを設定し、外部スイッチにて切り替えることが可能です。設 定分解能の変更を目的としても利用できます。 スロースタート機能制御開始時もしくは、設定流量変更時の制御流量の急激な変化を抑えることができます。 ガス種切替機能キー操作により標準対応ガスの中から使用するガス種を選択可能です。また予め2つのガス種類を選択し、外部スイッ チ入力で切り替えることが可能です。 ガス種設定機能特殊／混合ガスについては、補正係数（CF）を設定することで対応が可能です。 SPランプ機能制御開始時、設定変更時のSP変化勾配を2種類設定することができます。また外部スイッチと組み合わせて、外部か ら勾配を変更することも可能です。 バルブ駆動電流アラーム 機能 比例バルブを駆動する電流値をモニタ、アラーム出力させる機能です 注） バルブ駆動電流値は設定流量が同一の場合にも、差圧の大きさなどにより変動しますので取扱いにはご注意ください。 ローダ通信機能ローダ通信用の通信ポートを標準装備しています。別売の専用ローダパッケージ（MLP100A100）を使用し、パソコ ンと1対1で通信ができます。（各種の設定およびモニタをパソコン画面上で行うことができます） RS-485通信機能 （オプション） オプションで3線式RS-485通信にも対応することができます。（伝送速度：2400〜38400bps） 別表1.　制御流量レンジと設定・表示分解能 ガス種類 MQV9020 MQV9050 MQV9500 MQV0005 MQV0010 制御流量レンジ mL/min（standard） 設定・表示分解能 mL/min（standard） 制御流量レンジ mL/min（standard） 設定・表示分解能 mL/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 水素0.2〜20.0 0.1 0.4〜50.0 0.2 0.004〜0.500 0.002 0.04〜5.00 0.02 0.10〜10.00 0.05 ヘリウム0.2〜20.0 0.1 0.4〜50.0 0.2 0.004〜0.500 0.002 0.04〜5.00 0.02 0.10〜10.00 0.05 ガス種類 MQV0050 MQV0200 MQV0500 MQV1000 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 制御流量レンジ L/min（standard） 設定・表示分解能 L/min（standard） 水素0.4〜50.0 0.2 2〜200 1 4〜500 2 10〜1000 5 ヘリウム0.4〜50.0 0.2 2〜200 1 4〜500 2 10〜1000 5 ・ アナログ信号で設定入力および流量出力を行う場合は、設定・表示分解能が大幅に向上します。弊社までお問い合わせください。 4 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/