バルブ全開時の差圧と流量の関係（水素の場合） バルブ全開時の差圧と流量の関係（ヘリウムの場合） 差圧(kPa) MQV9020/9050 MQV9500 流量 [L/min(standard)] 0 5 10 15 20 25 30 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 �@ 出口圧条件 �@ 150kPa（gauge） �A 50kPa（gauge） �B 0kPa（gauge） �C−50kPa（gauge） 差圧(kPa) MQV0005 流量 [L/min(standard)] 0 5 10 15 20 25 30 6.0 5.0 4.0 3.0 2.0 1.0 0.0 差圧(kPa) MQV0050 流量 [L/min(standard)] 0 5 10 15 20 25 30 60 50 40 30 20 10 0 差圧(kPa) MQV0200 流量 [L/min(standard)] 0 20 40 60 80 100 240 200 160 120 80 40 0 差圧(kPa) MQV0500 流量 [L/min(standard)] 0 10 20 30 40 50 60 600 500 400 300 200 100 0 差圧(kPa) MQV1000 流量 [L/min(standard)] 0 40 80 120 160 1200 1000 800 600 400 200 0 差圧(kPa) MQV0010 流量 [L/min(standard)] 0 20 40 60 80 100 120 12 10 8 6 4 2 0 100 80 60 40 20 0 0 2 4 6 8 10 12 流量 [mL/min(standard)] �@ �@ �@ �@ �@ �@ �@ �A �A �A �A �A �A �A �A �B �B �B �B �B �B �B �B �C �C �C �C �C �C �C �C 差圧(kPa) 差圧(kPa) MQV9020/9050 MQV9500 流量 [L/min(standard)] 0 10 20 30 40 50 60 10 20 30 40 50 60 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 差圧(kPa) MQV0005 流量 [L/min(standard)] 0 6.0 5.0 4.0 3.0 2.0 1.0 0.0 100 80 60 40 20 0 0 4 8 12 16 20 24 流量 [mL/min(standard)] �@ �A �B �@ �A �B �@ �A �B �C �C �C 差圧(kPa) 5 2 35 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/