出口圧条件 �@ 150kPa（gauge） �A 50kPa（gauge） �B 0kPa（gauge） �C−50kPa（gauge） 差圧(kPa) MQV0050 流量 [L/min(standard)] 0 5 10 15 20 25 30 60 50 40 30 20 10 0 差圧(kPa) MQV0200 流量 [L/min(standard)] 0 40 80 120 160 200 240 200 160 120 80 40 0 差圧(kPa) MQV0500 流量 [L/min(standard)] 0 20 40 60 80 100 120 600 500 400 300 200 100 0 差圧(kPa) MQV1000 流量 [L/min(standard)] 0 80 160 240 320 1200 1000 800 600 400 200 0 差圧(kPa) MQV0010 流量 [L/min(standard)] 0 40 80 120 160 200 12 10 8 6 4 2 0 �@ �@ �@ �@ �@ �A �A �A �A �A �B �B �B �B �B �C �C �C �C �C 取り扱い上の注意 ・ 前述のグラフと異なる出口圧条件で使用する場合には下記の式で計算してください。 MQV1000電源電圧と最大動作差圧の関係 . 左図の最大動作差圧を超えて使用するとバルブの駆動電圧が 不足し、目的の流量が得られなくなります。また、駆動電圧 が不足しない場合でも300kPaを超える動作差圧では、流量 のハンチングなどを起こす恐れがあります。必ず300kPa以 下で使用してください。 (1) P2 / P1 ＞ 0.53の場合 P1: 入口側絶対圧 [kPa(abs)] Q=C1　(P1ーP2)P2 P2: 出口側絶対圧 [kPa(abs)]　(絶対圧=ゲージ圧＋101.3kPa) (2) P2 / P1 ≦ 0.53の場合 Q: 流量 [L/min(standard)]　MQV9020/9050は [mL/min(standard)] Q=C2・P1 C1、C2: 機種ごとの定数 ＜水素の場合＞ MQV9020: C1= 2.684, C2=1.340 MQV9050: C1= 2.684, C2=1.340 MQV9500: C1= 0.01181, C2=0.00590 MQV0005: C1= 0.1181, C2=0.0590 MQV0010: C1= 0.1181, C2=0.0590 MQV0050: C1= 1.181, C2=0.590 MQV0200: C1= 2.091, C2=1.044 MQV0500: C1= 8.365, C2=4.175 MQV1000: C1= 8.365, C2=4.175 例) MQV0200で水素を入口圧=100kPa(gauge)、 出口圧=80kPa(gauge)の条件で流した場合 P1=201.3kPa(abs), P2=181.3kPa(abs) → P2/P1=0.901 Q= 2.091 × (201.3-181.3)×181.3 =126 [L/min(standard)] ＜ヘリウムの場合＞ MQV9020: C1= 1.904, C2=0.950 MQV9050: C1= 1.904, C2=0.950 MQV9500: C1= 0.00838, C2=0.00418 MQV0005: C1= 0.0838, C2=0.0418 MQV0010: C1= 0.0838, C2=0.0418 MQV0050: C1= 0.838, C2=0.418 MQV0200: C1= 1.483, C2=0.740 MQV0500: C1= 5.932, C2=2.961 MQV1000: C1= 5.932, C2=2.961 21.0 140 160 180 200 220 240 260 280 300 22.0 23.0 24.0 25.0 26.0 27.0 25℃ 40℃ 60℃ 電源電圧［ V］ 最大動作圧 ［kPa］ 6 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/