形番構成 ● 小流量モデル 基本形番標準流量 レンジ 機　種流路材質接続方式ガス種類付加機能付番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 9020 0.2〜20.0mL/min（standard） *1 9050 0.4〜50.0mL/min（standard） *1 9500 0.004〜0.500L/min（standard） *1 0005 0.04〜5.00L/min（standard） *1 0010 0.10〜10.00L/min（standard） *1 0050 0.4〜50.0L/min（standard） *1 0200 2〜200L/min（standard） *1 B 一体形表示器付き、流路面間寸法：90mm C 分離形表示器付き、流路面間寸法：90mm S SUS316 R Rc1/4（MQV9020、MQV9050では選択できません） S 1/4Swagelok V 1/4VCR U 9/16-18UNF（MQV9020、MQV9050では選択できません） H 水素 *2 0 付加機能なし 0 付加機能なし 1 RS-485通信機能付き（CPL通信） 0 付加機能なし 1 接ガス部に禁油処理 0 付加機能なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明対応 0 製品バージョン ● 中流量モデル 基本形番標準流量 レンジ 機　種流路材質接続方式ガス種類付加機能付番内　容 1 2 3 4 5 MQV デジタルマスフローコントローラ 0500 4〜500L/min（standard） *1 1000 10〜1000L/min（standard） *1 J 一体形表示器付き、流路面間寸法：150mm K 分離形表示器付き、流路面間寸法：150mm S SUS316 R Rc1/2 S 1/2Swagelok V 3/8VCR U 3/4-16UNF H 水素 *2 0 付加機能なし 0 付加機能なし 1 RS-485通信機能付き（CPL通信） 0 付加機能なし 1 接ガス部に禁油処理 0 付加機能なし D 検査成績書付き Y トレーサビリティ証明対応 0 製品バージョン *1 mL/min（standard）、L/min（standard）は、20℃、101.325kPa（1気圧）に換算した1分間あたりの体積流量（mL/min、L/min）を表します。 なお、基準温度を0℃、25℃、35℃にも設定変更できます。 *2 出荷時は水素用に初期設定されています。設定変更によりヘリウムにも対応できます。 8 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/