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共通仕様 口径: フランジ形; 15、20、25、40、50、80、100、 150、200mm ウエハ形; 15、20、25、40、50、80、100mm 測定流体: 液体、気体、蒸気(飽和蒸気、過熱蒸気) 測定精度: 表1. 測定精度 各種出力液体測定時気体及び蒸気測定時 体積流量±0.7% RD ±1% RD 質量流量±1% RD ±1.5% RD ※ 温 度±1℃ ±1℃ 圧 力±0.3% FS ±0.3% FS 計算密度±0.3% RD ±0.5% RD※ ※ 気体および蒸気の質量流量出力の精度は被測定圧力が使用す る圧力センサレンジの50〜100%の範囲にある場合での精 度。流量出力精度はパルス出力で定義をしています。 繰り返し性: 表2. 繰り返し性 各種出力繰り返し性 質量流量±0.2% RD 体積流量±0.1% RD 温 度±0.1℃ 圧 力±0.05% FS 計算密度±0.1% RD 12ヵ月後の安定性: 表3. 12ヵ月安定性 各種出力12ヵ月後の安定性 質量流量±0.2% RD 体積流量±0.1% RD以下 温 度±0.5℃ 圧 力±0.1% FS 計算密度±0.1% RD 応答速度: 1〜100秒で設定可能 出荷時校正: Azbil VorTek社にて校正実施 校正基準: 米国NIST(National Institute of Standards and Technology)基準。 ※ 日本国内のトレーサビリティを必要とする 場合には、別途、アズビル京都で校正を行う 必要があります。 周囲温度: −40〜+60 ℃(輸送保管時は−40〜 +85℃) 相対湿度: 0〜98%RH(結露なきこと) 標高: −610〜+4268m 流体温度: 表4. 流体温度範囲 仕 様流体温度(℃) 標 準 −50 〜+260 高 温 −50 〜+400 極低温 −200 〜+50 ※ 流体温度が260℃を超える場合には、高温仕様を使用してく ださい。また、−50℃を下回る液化ガス等への使用におい ては別途、ご用命ください。 流体圧力: 形番選択(配管接続の選定、および、内 蔵する圧力センサの選定)による。 圧力センサ測定範囲: 形番選択による。 表5. 圧力センサ測定範囲 圧力センサ測定範囲(MPa_abs) 測定上限値※ 耐圧値※※ 0.2 0.4 0.7 1.4 2.0 4.0 3.5 7.0 10.0 17.5 ※  高精度な測定のために使用時最高圧力の値をカバーする中 で最も低い測定レンジを選んでください。 ※※ 圧力センサの損傷を防ぐため耐圧値を越える圧力には曝さ ないでください。 流量測定範囲: 本器は口径により最大流速が異なります のでご注意ください。 表6. 流速による測定範囲 口径:40〜200A; 流 体液 体気体・蒸気 最大流速(m/s) 9 90 最小流速(m/s) 0.3 口径:25A; 流 体液 体気体・蒸気 最大流速(m/s) 9 75 最小流速(m/s) 0.3 口径:15〜20A; 流 体液 体気体・蒸気 最大流速(m/s) 9 52.5 最小流速(m/s) 0.3 ※ 各口径・各圧力下での流量測定範囲については 表11〜13を参照。 配管接続と配線接続口: 表7. 配管接続口と配線接続口 配管接続口 配線接続口 ウエハ接続フランジ接続 JIS10k/20k/30k RF 3/4NPT ( P11の ANSI150#/300#/600# 表14.参照) 材質: 変換器部; 表8. 変換器材質 部 位材質名 共通部分ハウジングASTM383(ADC12) 端子箱カバーASTM383(ADC12) 表示器ありカバーASTM383(ADC12) ガラス強化ガラス 表示器なしカバーASTM(ADC12) ※( )内は相当品を示す。 検出端部; 形番選択による。 表9. 検出端接液材質 接 続部 位材質名 共通部分三角柱ASTM CF3M(SCS16A) サドルASTM A479(SUS316L) 流速センサASTM A479(SUS316L) 温度センサシースASTM A479(SUS316L) 導圧パイプASTM A269(SUS316L-TP) 圧力センサユニオンSUS316L センサダイヤフラムSUS316L フレームアレスタSUS316L フランジ 接続 パイプ部ASTM A312(SUS316L-TP) フランジ部SUSF316L ウエハ接続パイプ部ASTM A479(SUS316L) ※ 圧力センサ内蔵モデルのみPTFEシーラントを使用。 ( )内は相当品を示す。 塗装: 変換器部; 耐候性ポリエステル粉体焼付塗装 塗装色: 変換器本体部;ダークベージュ 変換器前カバー/後カバー;ライトベージュ 6 密度(kg/m3) 6 密度(kg/m3) 6 密度(kg/m3) 2 WEBサービス製品の最新情報はwww.azbil.com/jp/